판매용 중고 MATTSON AST 3000 #293815931
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Rapid Thermal Processing (RTP) system
(2) Axiom chambers
(3) Load / Unloaders.
MATTSON AST 3000은 반도체 및 나노 기술 재료의 최적의 열 처리를 위해 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 이 고급 RTP는 특히 짧은 시간에 높은 온도를 요구하는 열 프로세스에 적합합니다. MATTSON AST3000의 낮은 열 질량은 고급 프로세스 테스트 및 생산 요구에 이상적입니다. AST 3000은 MATTSON 특허 Anomalous Sub-Threshold 난방 기술을 기반으로합니다. 이것은 온도 제어 알고리즘 (temperature control algorithm) 의 개선과 함께 AST (AST) 가 샘플의 열 프로파일을 빠르고 정확하게 정의 할 수 있습니다. AST3000의 열 헤드는 일련의 고정밀 열 센서 및 전자 장치로 구성됩니다. 이들은 기존의 프리즘/로드 열 헤드를 대체하여 몇 초 안에 0.1-3500ß C 범위에서 온도에 액세스 할 수 있습니다. 또한, MATTSON AST 3000은 냉각 프로세스 동안 거의 0에 가까운 난방 시간을 특징으로하며, 가장 까다로운 처리 요구 사항에도 높은 열 안정성을 제공합니다. MATTSON AST3000에는 직관적인 사용자 인터페이스가 있어 온도, 시간, 프로세스를 그래픽 형식으로 표시하는 읽기 쉬운 어레이가 제공됩니다. 간단히 선택하면 열 매개변수 (thermal parameter) 와 열/냉각 (heat/cool) 컨트롤을 빠르게 설정하여 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 이 시스템은 온도 안정화, 배치 프로그래밍, 분수 제어, 스트레스 보상, 즉석 제어, 사용자 정의 가능한 난방 및 냉각 프로파일과 같은 고급 기능도 제공합니다. zone control, local optimization, error protection 등의 기능으로도 기존 프로세스를 지원합니다. 모든 데이터는 USB 메모리 키에 저장되며, 모든 유형의 PC 또는 데이터 로거와 상호 작용할 수 있습니다. 빠른 열 제어 기능 외에도, AST 3000 또한 안전 측면에서 발전되었습니다. 고정밀 온도 조절 알고리즘과 전용 안전 시스템은 우발적 과열 (overheating) 또는 처리 (processing) 에 비해 뛰어난 보호 기능을 제공합니다. AST3000은 인광 확산, 휘발성 및 소스/드레인 임플란테이션, 나노 침전을위한 고급 열 처리 (advanced thermal trements) 와 같은 까다로운 프로세스 요구 사항에 이상적인 선택입니다. 이 뛰어난 열 프로세서는 탁월한 성능, 안정성, 안전성을 제공하므로, 까다롭고 까다로운 처리 요구 사항에 이상적인 선택입니다.
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