판매용 중고 MATTSON AST 2800 #293820853

MATTSON AST 2800 Rapid Thermal Processor (RTP) 는 처리량이 많은 웨이퍼 처리를 위해 설계된 반도체 장치 처리 장비입니다. 이 시스템은 정확한 온도 조절을 통해 다양한 열 처리를 제공하며, 0.5 ~ 15 oC/s의 온도 램프 속도를 수행 할 수 있습니다. 이 장치의 열 처리 챔버 (thermal processing chamber) 는 최대 12 개의 온도 구역 (각각 조정 가능한 가스 흐름 및 온도 범위) 으로 구성 될 수 있으며, 이를 통해 열 처리를 정확하게 실행할 수 있습니다. 이 장치 는 여러 가지 "응용프로그램 '을 위하여 빠른 주기 로 정밀 한 열 처리 를 하도록 설계 되었다. 기계의 빠른 가열 및 냉각 공정 (rapid heating and cooling process) 은 웨이퍼 상단에서 하단으로 초정밀 온도 램프를 생성하는 데 이상적입니다. 또한, 정확하고 일관된 열 처리 조건, 프로세스 최적화 및 상당한 비용 절감을 제공하면서 총 열 처리 시간 (total thermal treatment time) 을 단축하도록 설계되었습니다. 또한, MATTSON 2800은 과도한 산화물 축적, 프로세스 가스 누출, 부적절한 열 프로파일 등의 자동 보호 (automatic protection shutdown) 과 같은 안전 기능을 통해 안전한 작동을 위해 설계되었습니다. 이 도구에는 수많은 제어 시스템 (Control System) 이 장착되어 있어 지속적인 품질 관리를 보장합니다. AST2800은 메모리 칩 제조, 초얕은 정션 (Ultra-Shallow Junction) 형성, 박막 증착, 에칭 프로세스 등 다양한 반도체 애플리케이션에 적합한 다목적 처리 자산입니다. RTP 모델의 유연성을 통해 사용자는 애플리케이션 요구 사항에 따라 장비 구성을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 AST 2800 은 MATTSON VISATM Automation Software 와도 호환되며 자동 웨이퍼 처리, 데이터 획득 및 프로세스 로깅이 가능합니다. 즉, 사용자는 RTP 작업을 유연하게 수행할 수 있어 레시피를 만들고 저장할 수 있으며, 시스템 매개변수를 실시간으로 모니터링, 제어할 수 있습니다. 사용자는 나중에 사용하기 위해 레시피를 가져오고 내보낼 수 있으며, 소프트웨어를 개별 랩 (lab) 조건에 맞게 조정할 수 있습니다. 요약하자면, 2800 Rapid Thermal Processor는 여러 반도체 응용 프로그램에 적합한 다목적 고성능 장치입니다. 고급 안전 (Advanced Safety) 기능, 정밀한 온도 조절 기능, 자동화된 소프트웨어 등을 갖추고 있으며, 신속한 웨이퍼 열 처리를 위한 안정적이고, 효과적이며, 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.