판매용 중고 MATTSON AST 2800 #293811095

MATTSON AST 2800은 웨이퍼의 효율적인 열 처리를 위해 설계된 최첨단 고속 열 프로세서입니다. "웨이퍼 '를 신속 하게 처리 하고 생산 시간 을 단축 하기 위하여 대피 한" 챔버' 에서 의 온도 를 정확 하고 정확 하게 제어 할 수 있다. 이 정밀도 (precision) 와 속도 (speed) 의 조합은 첨단 인사이트 (in-situ) 자체 감지 기술로 인해 실시간으로 온도와 시간을 정확하게 측정 할 수 있기 때문에 가능합니다. 또한 MATTSON 2800 은 비용 및 공간 효율성 측면에서 유리하며, 다른 유사 공구보다 설치 공간이 적고, 운영 비용이 절감되는 동시에, 최고 수준의 품질을 유지합니다. AST2800에는 최대 128 웨이퍼의 스택 가능한 처리, 고온 (최대 700 ° C) 및 빠른 열 램프 (최대 150 ° C/초), 수소부터 Silane까지 다양한 가스 선택, 저체계 압력 (< 1 mb) 및 다양한 프로세스 레시피, 모든 고객이 수정할 수 있습니다. 온도 균일성 단계도 매우 정확하여 - +/- 3 ° C 정확도가 < 3 분입니다. 안전성 측면에서 MATTSON AST2800은 HEPA/ULPA 여과를 사용하여 입자가 없는 환경을 보장하며 Class 1 청정실 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 2800 에는 온도 안정성 (Emergency Power Storage), 온도가 높은 모니터 (Over Temperature Monitor) 및 비정상적인 조건이 감지되면 전원을 끄는 연동 시스템 (Interlock System) 과 더불어 처리 재료를 포함할 자체 잠금 용지함도 있습니다. 전반적으로, AST 2800은 효율적이고, 정확하며, 안전한 열 처리를 제공하는 현대 생산에 이상적인 도구입니다. 고급 (Advanced), 맞춤형 (Customizable) 기능을 통해 프로세스 품질 및 비용 효율성을 유지하면서 다양한 고객 요구를 충족할 수 있습니다.