판매용 중고 AXCELIS / FUSION Integra RS #293615015

FUSION의 AXCELIS/FUSION Integra RS Rapid Thermal Processor는 다양한 응용 프로그램 및 시장에 대해 정확하고 정확한 열 처리를 제공하는 고급 반도체 프로세스 챔버입니다. FUSION Integra RS (FUSION Integra RS) 는 처리 매개변수를 최대한 제어할 수 있는 고급 설계로, 탁월한 처리 품질 및 반복 기능을 제공합니다. AXCELIS Integra RS 고속 열 프로세서는 표준 (Standard) 과 플러스 (Plus) 의 두 가지 별개의 시스템을 제공하며, 이 두 시스템 모두 효율적인 열 관리 기능과 정렬 관련 손상을 줄여주는 정밀한 온도 균일성을 제공합니다. Standard 및 Plus 시스템을 통해 사용자는 각각 1450 ° C 및 1550 ° C의 최고 기판 온도에 도달 할 수 있습니다. 후자는 또한 최대 12,000 ° C/min의 램프 속도로 더 빠른 열 처리를 제공하여 고속 및 고출력 어플리케이션에 적합하며 표준 (Standard) 품종은 최대 10,000 ° C/min에 도달 할 수 있습니다. Integra RS 빠른 열 프로세서는 정확하고 반복 가능한 결과를 보장하는 몇 가지 주요 설계 기능을 포함합니다. 진공실은 열적으로 안정적인 인클로저 내에 보관되어 있으며, 온도 균일성, 열 효율 및 온도 조절을 제공합니다. 고도로 구성 가능한 설계를 통해 사용자는 챔버 (chamber) 의 특성을 정확한 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. AXCELIS/FUSION Integra RS 는 매우 정밀한 선형 드라이브 장비를 사용하여 웨이퍼 로딩 및 언로드를 위한 자동 웨이퍼 이동을 수행합니다. 최첨단 반응 챔버 (State-of-the-art reaction chamber) 는 소스 가스의 정확한 유속 및 압력 제어, 대량 처리량 관리를 위해 특허 제어 시스템 (Patented Control System) 을 포함한 고급 가스 제어를 제공합니다. FUSION Integra RS 빠른 열 프로세서 (RS Rapid Thermal Processor) 는 산화제, 정화기, 충격 흡수기 및 쿼츠 서셉터를 포함한 선택적 피트 및 액세서리 제품군을 제공하여 사용자가 원하는 대로 장치를 업그레이드할 수 있습니다. 고급 안전 시스템 (Advanced Safety System) 은 사용자 안전 및 시스템 가동 시간을 향상시켜 고온 처리의 잠재적 위험을 방지합니다. 결국 AXCELIS Integra RS RS Rapid Thermal Processor 는 열 처리 시 탁월한 성능을 제공하므로 생산량을 극대화하고 수익률 손실을 줄일 수 있습니다. 이 고급 도구는 속도, 정확도, 온도 균일성, 제어 (Control) 의 탁월한 조합을 제공하여 다양한 반도체 처리 요구에 적합합니다.