판매용 중고 AXCELIS / FUSION Integra RS #293593049

AXCELIS/FUSION Integra RS는 빠른 산화, 어닐링 및 드라이브 인과 같은 빠른 열 확산 프로세스를 지원하도록 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 반도체 업계에선 다목적 역량과 효율성 등으로 인기가 높아지고 있다. & # 160; & # 160; FUSION Integra RS는 빠르고 안정적인 패라메트릭 조정, 프로세스 성능 향상, 디바이스 기능 최적화를 위해 특별히 제작되었습니다. AXCELIS Integra RS는 최고의 유연성과 프로세스 가동 시간을 제공하는 기계적 설계를 제공합니다. 독점적 인 Rapid Thermal Ramp (Rapid Thermal Ramp) 기술은 대규모 웨이퍼 크기에 대한 균일 한 온도 조절 및 성능을 보장하여 다양한 프로세스 옵션에 적합합니다. 이 시스템에는 편리하고 균일 한 기판 온도 제어를 위해 이중 섹터 방사형 암과 소프트웨어 제어 액티브 존 (Active Zone) 이 장착되어 있습니다. Integra RS는 또한 고급 안전 및 환경 보호를 제공합니다. 고급 진공 및 백필 시스템 (backfill system) 은 안정적인 대기 처리를 가능하게하며 프로세스 환경을 깨끗하게 유지합니다. 안전 연결 (Safety Interlock), 가청 경보 (Audible Alarm) 및 재정의 (Override) 단추를 포함한 고급 안전 설계 기능이 포함됩니다. AXCELIS/FUSION Integra RS는 전기 및 구조 프로세스 모두에 대해 프로세스 균일성을 제공합니다. 이 시스템은 다양한 공정 온도 (process temper) 를 지원하며, 특정 공정 요구에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, FUSION Integra RS에는 공정 후 분석뿐만 아니라 실시간 온도 측정 및 피드백을 제공 할 수있는 고급 광학 및 온도 센서 (Sensor) 기술이 제공됩니다. AXCELIS Integra RS 는 처리량 증가, 프로세스 비용 절감, 신뢰성 있고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 고급 안전 설계, 환경 보호 및 온도 조절 기술을 갖춘 Integra RS는 MEMS 장치에서 광대역에 이르는 다양한 애플리케이션에 적합한 RTP 솔루션입니다.