판매용 중고 YUASA SR-8040A #9375925

YUASA SR-8040A는 반도체 생산을 위해 설계된 고급 자동 포토레스 처리 장비입니다. 이 모델은 매우 자동화되어 있으며, 한 번에 최대 10 개의 웨이퍼에 대해 15 개 이상의 프로세스를 처리 할 수 있습니다. YUASA SR-8040 A에는 우수한 기판 난방 및 냉각 제어를 위해 독점적 인 5 단계 열 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 내장 된 프로세스 모니터링 장치를 통해 보다 정확한 저항 코트 균일성을 제공합니다. 이 장치는 최대 8 "크기의 다양한 기판을 처리 할 수 있으며, 웨이퍼 정렬 정밀도는 2.5 µm 이내입니다. 이 기계는 또한 직접 이미징을위한 고강도 UV 램프 소스를 갖추고 있습니다. 램프 소스는 향상된 UV 균일성을 위해 석영 유리 절연 출구 창으로 설계되었습니다. SR-8040A는 마스킹, 프리 베이크, 포스트 베이크, 노출, 노출 후 베이크, 개발, 빵, 에치 및 도량형을 포함한 다양한 저항 처리 기능을 제공합니다. 노출 장치에는 주파수 안정화 LED 광원이 장착되어 있어 정밀 정렬이 가능합니다. 이 기계는 또한 고속 및 저속 개발 및 에칭 프로세스를 모두 제공합니다. 이 도구는 충분한 조사 제어 (irradiation control) 를 통해 설계되어 용량 및 시간을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 챔버 인테리어는 오염을 제거하고 수율을 최대화하기 위해 플라즈마-클리닝 메커니즘으로 설계되었습니다. 터치 패널 사용자 인터페이스를 사용하면 빠르고 정확한 프로세스 설정을 사용할 수 있습니다. SR-8040 A에는 고유 한 진공 전 에지 클린 기능도 있습니다. 이는 고밀도 저항 (High-Density Resist) 애플리케이션에 특히 유용하며, 웨이퍼 전체에서 불필요한 저항을 제거하여 의도 된 저항 만 남겨 둡니다. 또한 불순물이 공정 챔버에 들어가지 못하도록 프런트 엔드 필터 (front end filter) 가 있습니다. YUASA SR-8040A 를 운영하려면 엄격한 안전 절차를 따라야 합니다. 올바른 훈련은 중요합니다. 사용자는 사용하기 전에 시스템의 사양 및 안전 프로토콜에 익숙해야합니다. 적절한 유지 보수도 필수적입니다. 회로 기판 및 기타 구성 요소가 제대로 작동하는지 정기적으로 점검합니다. YUASA SR-8040 A는 정확한 결과를 위해 뛰어난 수준의 photoresist 프로세스 제어를 제공합니다. 최대 8 "기판에서 직접 이미징을위한 강렬한 UV 조명까지, 이 최상위 자산은 최고 수준의 회로 생산을 달성하는 데 필수적입니다.