판매용 중고 YUASA LPD-182 #293758571

YUASA LPD-182는 고정밀도 (< 2 -m 위치 정확도) 정렬과 같은 중요한 기능을 가진 반도체 처리를 위해 설계된 세계적인 포토 esist 장비입니다. 정렬 및 노출 중 웨이퍼의 편차 및 변위를 측정하는 데 사용되는 8 축 모터 드라이브 시스템이있는 고정밀 TTL 선형 인코더 (Base Plate) 가 있습니다. LPD-182의 듀얼 스테이지 필터 휠 (dual-stage filter wheel) 에는 다양한 조명 테스트를 선택할 수있는 6 위치 휠이 있습니다. 또한 최대 6,000 와트 시간의 고정밀 석영 할로겐 노출 램프를 포함하며, 선택한 방향으로 빛을 반사하여 포토 esist 패턴 강도 (photoresist patterning intensity) 를 최대화하기 위해 다양한 크기의 웨이퍼를 최적으로 조명합니다. [레벨 미터] 제어에 의해 노출을 조정하여 효율적이고, 반응적이며, 정확한 노출을 가능하게 합니다. 특허를받은 YUASA LPD-182는 스테이지의 Z축을 서브미크론 레벨 해상도로 조정할 수있는 고정밀 회로 (high-precision circuit) 패턴을 위해 고급 수직 교차 정렬 메커니즘을 사용합니다. 고정밀도 (high-accuracy) 단계는 또한 매우 안정적인 위치를 제공하여 처리 중에 일반적으로 발생하는 스테이지 드리프트와 불일치를 최소화합니다. 정확도를 더욱 향상시키기 위해, 이 장치는 온도 변동을 보완하도록 설계되었습니다. 고정밀도 자동 초점 머신 (high-precision auto focus machine) 을 사용하면 높은 정밀도로 노출 필드에 초점을 맞출 수 있으며 더 정확한 패턴화가 가능합니다. 또한 구슬 선택 및 라인 스캔 정렬 기능과 제한된 모니터링이 있습니다. 이를 통해 노출 강도 및 패턴 충실도 (patterning fidelity) 를 제어 및 모니터링하여 프로그래밍 정확도와 효율성을 더욱 높일 수 있습니다. 또한 CAPP (Computer-Assisted Programming) 를 통해 사용자는 자신의 정렬 및 노출 프로세스를 빠르고 정확하게 프로그래밍 할 수 있습니다. CAPP 는 수작업 (manual operation) 의 필요성을 없앨 수 있으므로 처리량 및 품질 보장을 높일 수 있습니다. LPD-182 포토레시스트 (photoresist) 자산은 반도체 소자 제조에 사용될 수있는 고정밀 기기로, 높은 정확성과 안정적인 결과를 제공합니다. 강력한 성능, 고급 기능, 설계를 통해 사용자가 최고의 품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 최첨단 기술과 빠른 설치 (Quick Setup) 시간은 고품질 반도체 관련 제품 생산에 이상적인 도구입니다.