판매용 중고 WERNER MATHIS VF 500 #9069956

WERNER MATHIS VF 500 포토레시스트 장비는 동일한 마티스 베르너 (Mathis Werner) 의 글로벌 주요 장비 제조업체 중 하나의 고급 반도체 제조를 위해 설계된 자동 고정밀 포토레시스트 패널 정렬 시스템입니다. 이 특정 장치 는 태양 광 "에너지 '산업 에 살고 있는 것 과 같은 태양 전지 장치 공정" 응용프로그램' 에 최적화 되어 왔다. 이 기계는 내장형 비접촉 패널 인식 도구 (non-contact panel recognition tool) 와 정밀 반자동 진공 (semiautomatic vacuum transfer) 모델과 결합된 자동화된 정렬 자산으로 구성된 높은 자동화를 제공합니다. 진공 전송 장비 (vacuum transfer equipment) 는 기판을 전송하기 어렵게 설계된 정밀 정렬 센서 (precision alignment sensor) 를 사용하여 기판의 빠르고 안정적인 수송을 가능하게 하며, 업계 최고의 정렬 정확도를 제공합니다. photoresist 패널 시스템은 특허받은 비행 및 레이저 공정 시간을 사용하여 나노미터 레벨 단위의 거리를 정확하게 측정하고 1 ~ 2 마이크로미터 이내의 패널을 정확하게 정렬합니다. 이 높은 수준의 정확도는 수동 정렬 방법으로 일반적으로 경험하는 부정확성을 극복합니다. 이 장치는 Prober Head, 프레임 마운트 전송, 제어 장치 및 CCD 카메라, 스테퍼 모터, 서보 드라이브, 센서, Tribometer, Force Meter, Optical Power Meter 등을 포함한 다양한 센서 및 액츄에이터를 갖춘 지원 플랫폼으로 구성됩니다. 프롤러 헤드에는 사파이어 팁이있는 도자기로 만든 2 개의 웨이퍼 홀더가 있으며, 특히 웨이퍼와 패키지를 최대 4 "및 8" 까지 운반하도록 설계되었습니다. 이 부분에는 또한 90 개의 개별적으로 조정 가능한 프로브 (probe) 가있는 큰 진공 평면이 있으며, 이는 작은 기판을 정확하게 정렬하고 정렬 할 수 있습니다. 또한 정확한 등록을 위해 기판 높이를 유지하기 위해 고유 한 압력 제어 기계가 포함되어 있습니다. 프레임 마운트 전송 장치 (Frame Mount Transport Unit) 는 웨이퍼 동작에 필요한 동작 제어를 제공합니다. 여기에는 전송 중 기판의 위치와 속도를 동적으로 계산하는 데 사용되는 선형 인코더 (Linear Encoder) 와 스테퍼 드라이버 (Stepper Driver) 가 포함됩니다. 지원 플랫폼에는 CCD 카메라 및 레이저 거리 측정 도구를 포함한 통합 센서 및 액추에이터가 있습니다. 등록 영역 (registration area) 에 기판을 정확하게 배치하고, 정확한 정렬 및 사전 정렬을 통해 빠르고 정확한 위치를 제공합니다. 전반적으로 VF 500 포토레시스트 (photoresist) 자산은 태양 광 산업의 수많은 응용 분야에 높은 수준의 정확도, 속도 및 신뢰성을 제공합니다. 또한 다양한 설계, 정확한 등록, 강력한 고객 지원을 통해 TCO (저비용) 를 제공합니다.