판매용 중고 WAFER PROCESS SYSTEMS 1222-327 19/21 #9216432
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ID: 9216432
빈티지: 2003
Acid bench
Sink with faucet: 12" x 26.5"
Chemical bath: 10" x 9"
Holding tank: 15" x 12"
Work surface area: 14" x 30"
EPO-100 Controller
Spin coater module WS-400A-6NPP/LITE/IND
With LAURELL controller
DI Bubble controller
Holding tank alarm monitor controller
Hot plate timer
Hot plate stirrer & temperature controller
(2) Bottom drawer storages for chemicals and supplies
2003 vintage.
WAFER PROCESS SYSTEMS 1222-327 19/21 포토 esist 장비는 실리콘 웨이퍼를 처리하기위한 반자동 도구입니다. 이 시스템은 방향 에칭 (directional etching) 및 플라즈마 에칭 (plasma etching) 에서 리소그래피 (lithography) 까지 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 제품은 하나의 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에 여러 계층의 반도체 장치를 만드는 반복 가능하고, 정확하며, 경제적인 방법을 제공합니다. 1222-327 19/21에는 양전하를 띤 웨이퍼에 포토 esist를 적용하는 데 사용되는 생산 단계가 포함됩니다. 광화학 물질 은 광화학 효과 를 내기 위해 "실리콘 웨이퍼 '의 표면 에 적용 되는 화학 물질 이다. 그것은 일반적으로 빛에 민감하며, 빛에 노출되면 불용성이되어, 특정 수율을 달성 할 수 있습니다. 일단 광미술사 가 "웨이퍼 '에 걸려 광원 에 노출 되면," 웨이퍼' 는 고압수 "스프레이 '를 사용 하여 원치 않는 저항영역 을 씻거나 진공 을 사용 하는 진공" 펌프 머시언' 으로 옮겨진다. 그 다음 세척 과정 에 따라, "웨이퍼 '들 은 자동화 된" 스핀' 에 적용 되는 "벤젠 '을 함유 한 용제 를 사용 하여" 레지스트' 를 벗긴다. 때때로 웨이퍼 처리 단계에서 열 프로세스가 사용됩니다. 이것 은 "와퍼 '를" 오븐' 이나 용광로 에 넣어 기질 있게 하는 것 으로 이루어져 있다. 이것 은 여러 가지 이유 로 행해진다. 예 를 들면 "스트레스 '에 더 강해지거나 전기적 특성 을 수정 하기 위한 것 이다. 포토리스 스트 (photoresist) 및 제거 프로세스가 완료되면 박막 증착기 (Thin film deposition machine) 를 사용하여 파퍼 (wafer) 에 추가 포토레스 레이어가 적용됩니다. 이 과정 은 일반적 으로 보호 "코우팅 '을 형성 할 것 이며, 그 로 인해 여러 단계 의 추가 절차 를 수행 할 수 있게 된다. 1222-327 19/21 장치는 매우 정교한 프로그래밍을 사용하며, 연산자는 발생하는 각 프로세스를 모니터링해야합니다. 이 기계는 공구 테스트 (Tool Test), 검사 테스트 (Inspection Test), 전기 테스트 (Electrical Test) 등 일련의 테스트를 수행합니다. 이러한 테스트를 수행하면 문제가 신속하게 발견되고 해결됩니다. WAFER PROCESS SYSTEMS 1222-327 19/21은 모든 반도체 제조 시설에 필수적인 도구입니다. 디바이스의 여러 계층을 정확하고 반복 (repeatable) 방식으로 생성할 수 있습니다. 또한, 자산은 가장 높은 수준의 제품 품질 (product quality) 을 달성하기 위해 엄격한 생산 프로세스를 준수합니다.
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