판매용 중고 VERTEQ SuperClean 1600 #9243729

VERTEQ SuperClean 1600
ID: 9243729
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2006
Spin Rinse Dryer (SRD), 8" 2006 vintage.
VERTEQ SuperClean 1600은 웨이퍼 및 기판을 처리 할 때 뛰어난 결과를 제공하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 심오한 청소 (deep clean) 를 허용하고 포토리스 (photoresist) 잔기를 동시에 제거하기 때문에 높은 수준의 청결이 필요한 정밀도에 민감한 응용 프로그램에 이상적입니다. 수퍼클린 (SuperClean) 1600을 통해 엔지니어와 전문가는 기판에서 포토레스 물질을 제거하는 과정을 최적화 할 수 있습니다. 이 장치는 "콜드 플라즈마 (cold plasma)" 공정으로 알려진 메커니즘을 사용하여 포토레스 물질을 제거합니다. 콜드 플라즈마 공정 (cold plasma process) 은 플라즈마 챔버 (plasma chamber) 를 통과하는 이온 및 라디칼 스트림을 이용하는 비 열 클리닝 방법입니다. 기판에서 활성화 된 이온 및 라디칼의 강렬한 빔을 조준함으로써, 기계는 표면에서 저항 입자를 제거한다. 또한, 이 공정 은 유해 한 부산물 을 생성 시키거나, 기질 에 추가 오염 을 일으키지 않는다. VERTEQ SuperClean 1600은 강력하고 효율적이며 다용도 포토레지스트 도구입니다. 습식 (wet) 과 건식 (dry process) 을 포함한 다양한 작업을 쉽게 처리 할 수 있습니다. 저온 조절 (low peak temperature control) 은 연약한 웨이퍼 및 기타 기판을 그대로 유지하면서 최대 청소 전력을 허용합니다. 또한, 장치 내의 강력한 진공 자산은 빠르고 효율적인 저항 제거를 허용합니다. 이 모델에는 조명실 (luminated chamber), 과열 경보 (overheating alarm) 및 연마제 미립자를 보호하는 이중 벽 (double-wall) 디자인과 같은 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. SuperClean 1600 포토리스 (photoresist) 장비는 가장 깨끗함이 필요한 기판에 적합한 안정적이고 견고한 장치입니다. 내구성 있는 구조, 신빙성 있는 정확성, 사진술사 (photoresist) 의 빠른 제거 등 수많은 기능 을 갖춘 이 "시스템 '을 통해 기술자 들 은 정밀도 와 속도 로 기판 과" 웨이퍼' 를 확신 있게 처리 할 수 있다.
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