판매용 중고 VERTEQ SuperClean 1600 #9004028

ID: 9004028
Spin Rinse Dryer (SRD) Single stack 150 mm.
VERTEQ SuperClean 1600 포토 esist 시스템은 습식 공정, 고온 에칭 및 포토 리토 그래피 청소에 사용되는 데가 챔버입니다. 디어 미네이션 (delamination) 의 필요성이 줄어든 탁월한 에치 (etch) 균일성을 제공하도록 설계되었으며 초보자와 고급 사용자를 염두에두고 개발되었습니다. SuperClean 1600에는 전체 360 ° 패턴의 청소 또는 에칭을 제공하도록 설계된 2 개의 독립 스프레이 건이 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 기계식 에치 챔버, 린싱 스테이션, 스톱 밸브 및 UV 모니터링 스테이션도 포함됩니다. VERTEQ SuperClean 1600 (VERTEQ SuperClean 1600) 은 청소 또는 에칭 과정에서 챔버 전체에 균일 한 온도 및 습도 수준을 유지하도록 설계된 난방 인클로저와 고유 한 압력 챔버를 갖추고 있습니다. 인클로저는 또한 완전 밀폐 장갑 박스 (fully-enclosed glove box) 역할을 하며, 사용자는 챔버 (chamber) 의 한계 내에서 작동하고 제어 된 분위기를 유지할 수 있습니다. 압력 약실 (pressure chamber) 은 식각 및 청소에 대한 최적의 조건을 제공하며, 입자 오염 물질이 약실에 들어가는 것을 방지하는 데 도움이됩니다. 안전성 측면에서 SuperClean 1600 (수퍼 클린 1600) 은 또한 잠재적인 장애 이벤트에 대해 사용자에게 알리기 위해 설계된 낮은 수준의 보안 시스템 (Low-Level Security System) 을 갖추고 있으므로 높은 평가를 받았습니다. 유해한 상황에서 유저와 장비 모두를 보호하는 데 도움이 되는 안전성 (Safety Interlock) 이 여러 개 있다. VERTEQ SuperClean 1600에는 청소 및 에칭 프로세스를 용이하게하도록 설계된 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 여기에는 스프레이 건 (spray gun), 특수 린스 탱크 (rinse tank) 및 오염 된 린스 물로 인한 손상 위험을 줄이기 위해 설계된 특수 클리닝 헤드가있는 클리닝 스테이션 (cleaning station) 이 포함됩니다. SuperClean 1600은 습식 공정, 고온 에칭 및 사진 리토그래피 클리닝 응용 분야에 적합한 선택 사항입니다. VERTEQ SuperClean 1600은 강력하고 안정적인 디자인, 탁월한 에치 균일성, 안전성 덕분에 오늘날 시장에서 가장 안정적이고 효율적인 시스템 중 하나입니다.
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