판매용 중고 VERTEQ ST600 #9096618

VERTEQ ST600은 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 산업에 사용되는 웨이퍼 (wafer) 에 감광성 수지의 정확한 레이저 빔 노출을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 스테퍼 원리를 기반으로하며 최대 6 인치의 필드 크기와 최대 600mm/s의 스테퍼 이동 속도를 특징으로합니다. 이 시스템은 또한 전원 수준을 조정할 수 있는 내장형 전원 공급 장치 (Power Supply) 와 노출 과정을 정확하게 제어할 수 있는 펄스 길이 (Pulse Length) 를 갖추고 있습니다. 이 장치는 통합 레이저 소스가 있는 스테퍼 (stepper), 개체 테이블 (object table) 및 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 를 포함하여 여러 컴포넌트로 구성됩니다. 스테퍼 및 레이저 소스는 HeNe, CO2 및 Ar 디자인과 같은 표준 레이저 소스와 호환됩니다. 스테퍼는 웨이퍼 (wafer) 표면에 최소 크기인 0.3 m 크기의 초미세 이미지를 생성하기 위해 노력합니다. 개체 테이블 (object table) 은 노출 중에 웨이퍼를 제자리에 고정시키는 데 사용되며, 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 는 웨이퍼를 제자리에 고정시키는 기능을 합니다. 이 기계는 또한 통합 이미징 및 제어 소프트웨어를 특징으로하며, 이를 통해 운영자는 스테퍼 및 레이저 소스 설정을 프로그래밍, 조정 및 관찰 할 수 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 이미지를 쉽게 만들고, 노출 및 레이저 포인트 크기를 조정하며, 노출 매개변수를 프로그램 (program) 할 수 있습니다. 또한, 연산자는 프로세스 매개변수를 최적화하여 웨이퍼에 원하는 패턴을 만들 수 있습니다. VERTEQ ST 600에는 정확한 이미징을 보장하는 통합 진공 도구도 있습니다. "웨이퍼 '는 노출 과정 중 에" 와퍼' 를 평평 하게 그리고 제자리 에 두어 "웨이퍼 '에 정확 하고 일관성 있는" 패턴' 을 제공 하도록 설계 되었다. 또한 "웨이퍼 '는" 스테퍼' 탐지기 의 중심 에 자동 으로 맞추어 작동 중 에 불량 될 가능성 이 있는 것 을 없애 준다. 전반적으로, ST600은 웨이퍼에 감광성 수지를 노출시키기 위해 매우 고급적이고 신뢰할 수있는 포토리스 (photoresist) 자산입니다. 최대 6 인치의 필드 크기와 최대 600mm/s의 스테퍼 이동 속도를 제공하여 고속 작동 및 정확한 레이저 빔 (laser beam) 노출에 적합합니다. 이 모델은 또한 내장형 이미징 (Imaging) 및 제어 소프트웨어 (Control Software) 와 내장형 진공 장비 (Vacuum Equipment) 를 갖추고 있어 안정적이고 정확한 노출 결과를 얻을 수 있습니다.