판매용 중고 VERTEQ ST600-42T #9126464

VERTEQ ST600-42T는 고도의 정밀도 패턴화 요구에 적합한 특수 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 STM (Fully Integrated Scanning Tunneling Microscope) 이 장착 된 증착실 주위에 구축됩니다. STM 프로브는 치료 프로세스, 자동 정렬 프로세스 (automatic alignment process) 및 기타 중요한 작업 중에 photoresist 재료를 주입 및 모니터링하는 데 사용될 수 있습니다. 이렇게 하면 두께 및 프로파일이 최대 1 나노미터 (nanometer) 의 정확도로 유지됩니다. 이 장치의 고급 동작 제어 시스템 (advanced motion control system) 과 잘 설계된 소프트웨어를 사용하면 곡면 (curved surfaces) 에서도 정확한 패턴을 생성할 수 있습니다. 이 장치는 또한 여러 개의 패턴 레이어를 지원하며 공간, 높이, 너비, 방향, 크기를 제어합니다. 이렇게 하면 기판에 패턴 (pattern) 을 적용하여 지정된 응용 프로그램의 사양을 충족시킬 수 있습니다. ST600-42T에는 가스 냉각 크세논 램프가 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 출력 (power output) 및 노출 기간 (exposure period) 을 프로세스 매개변수에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 내장된 광 정렬 장치 (Optical Alignment Machine) 는 사용자가 패턴을 정확하게 정렬하고 제어할 수 있도록 도와줍니다. 이 도구에는 고속 기판 로더도 포함되어 있습니다. 이 로더를 사용하면 기판 사이를 빠르게 전환할 수 있으며, 다운타임, 마모, 찢어짐 등이 줄어듭니다. 이 자산은 클린 룸 (Cleanroom) 환경을 위해 특별히 설계되었으며 가스 마스크 (Gas Mask) 및 화재 억제 모델 (Fire Suppression Model) 을 포함한 일련의 안전 기능을 갖추고 있습니다. VERTEQ ST600-42T는 뛰어난 성능과 높은 수율을 제공할 수 있습니다. 베르 테크 엔지니어 (VERTEQ Engineers) 는 사진술에 대한 오랜 경험을 바탕으로 가장 까다로운 패턴화 요구 사항을 충족하는 장비를 설계했습니다. 이 시스템은 넓은 영역 및/또는 얇은 기판 (thin substrate) 에 대한 고정밀 저항층 (high precision resist layer) 패턴화가 필요한 모든 비즈니스에 적극 권장됩니다.