판매용 중고 VERTEQ SC1600-3 #293592052

VERTEQ SC1600-3은 광학 부품의 제조 및 박막 증착에 일반적으로 사용되는 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 다양한 기판에 정확하고 정확한 패턴을 적용하기 위해 고출력과 균일성을 갖춘 최첨단 광학 프로젝션 시스템 (state-of-the-art optical projection system) 을 갖추고 있습니다. SC1600-3 포토 esist 유닛에는 고해상도 스캐닝 트래버스 헤드 (scanning traverse head) 및 정밀 옵틱 (optics) 과 소프트웨어 패키지가 포함되어 있어 복잡한 벡터 및 래스터 디자인을 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 3 단계 펄서 공구로 1800 와트의 전력을 제공하여 포토 esist 레이어의 균일 한 이동을 보장합니다. 에셋의 최상위 계층은 개별적으로 제어 할 수있는 최대 8 개의 선형 스캐닝 축 (Linear Scanning Axes) 을 갖춘 플레이트입니다. WMS (Wafer-Moving Model) 는 대형 웨이퍼에서도 정확한 기판 위치를 보장합니다. 과열 방지를 위해 통합 셔터 메커니즘 및 냉각 장비가 있습니다. VERTEQ SC1600-3은 높은 정확도 피드를 가지고 있으며, 여러 기판에 사용할 수 있으며, 처리량은 최대 450 um/s이며 반복 가능한 정확도는 30 um 입니다. 또한 빠른 초점 최적화 (Fast Focus Optimization) 기능을 통해 사용자가 노출 간 최적의 초점을 위해 투영 광학을 빠르게 조정할 수 있습니다. 조정 가능한 포토 마스크 홀더 (photomask holder) 와 전동식 광원 덕분에 사용자는 다른 포토 마스크 사이를 빠르고 쉽게 전환 할 수 있습니다. 또한, 시스템은 다양한 디지털 프로세스 제어 기능과 자동 초점, 등록, 정렬, 스캐닝 (scanning) 등 다양한 툴별 기능을 통해 수동/자동으로 작동할 수 있습니다. 또한 SC1600-3 (SC1600-3) 는 다양한 프로세스 제어 기능을 제공하여 각 기판 유형 및 재료에 대해 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 여기에는 레티클 로딩, 포토 esist 응용 프로그램, 노출 제어, 정렬 및 등록 제어, 에칭 및 개발이 포함됩니다. 또한 폴리 이마이드, 쿼츠 및 인듐 주석 산화물 (ITO) 을 포함한 다양한 기질 유형에 대한 광범위한 저항 재료 및 두께를 지원합니다. 최종 제품의 최고 품질을 보장하기 위해 VERTEQ SC1600-3에는 다양한 진단 및 모니터링 기능 (예: 균일성 매핑, 중요 치수 분석, 전송) 도 포함되어 있습니다. 소프트웨어 인터페이스를 통해 사용자는 사용자 지정 레시피를 프로그래밍하고 보고서를 실시간으로 생성할 수 있습니다. SC1600-3은 모두 고정밀도, 고밀도 포토 esist 처리에 이상적인 도구입니다. 견고한 설계, 다용도 디지털 프로세스 제어 기능, 빠른 처리 속도 (fast processing speed) 를 통해 광학 부품의 제조 및 박막 증착에 이상적인 선택이 가능합니다.