판매용 중고 VERTEQ MCS-2600-3A-UCX #9196057

VERTEQ MCS-2600-3A-UCX
ID: 9196057
Megasonic cleaner.
VERTEQ MCS-2600-3A-UCX 포토 esist 장비는 고급 포토 리토 그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 제작 도구입니다. 특허를받은 음향 결합 방열판 (acoustic-coupled heat sink) 기술을 활용하여 포토 esist 표면에 열을 균등하게 분배합니다. 전체 포토레지스트 층 (photoresist layer) 에서 균일 한 온도 필드를 유지함으로써, 시스템은 세부 (detail) 와 정확도가 향상된 매우 정밀한 리소그래피 패턴을 생성 할 수 있습니다. MCS-2600-3A-UCX는 이중 구획 단위를 특징으로하며, 하나는 음향 방이 음향 방열판을 수용하고 다른 하나는 di-methyal-cyanide (DMAC) 기반 포토 esist로 채워져 있습니다. 두 성분은 음향 변환기 (acoustic transducer) 에 의해 결합되며, 이것은 방열판에서 생성 된 열을 포토 esist로 전달합니다. 두 챔버 모두 개별적으로 온도를 제어하여 확장 된 런에 대한 일관된 저항 온도를 보장합니다. VERTEQ MCS-2600-3A-UCX는 0.4 미크론 정도의 임계 치수를 가진 잘 정의 된 리소그래피 에치 패턴을 생성 할 수 있습니다. 이 기계에는 다양한 프로세스 자동화 기능 (예: 자동 로드/언로드 기능이 있는 완전 자동 노출 챔버, 종합적인 사용자 모니터링 및 제어 기능) 이 통합되어 있습니다. 반도체 제작, LED 패턴 생성, 광학 부품, 액정 디스플레이 제작 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 탁월한 성능과 안정성을 제공하는 MCS-2600-3A-UCX 는 고급 사진 (photolithography) 애플리케이션을 위한 비용 효율적인 솔루션으로 설계되었습니다. 이 툴은 구성 요소의 견고한 설계로 인한 최대 가동 시간 (uptime) 과 낮은 유지 관리 비용을 제공합니다. 이 모델은 또한 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 을 통해 고속 석판화 템플릿을 생성 할 수 있습니다. VERTEQ MCS-2600-3A-UCX는 가장 복잡한 photolithography 프로세스에 최적의 성능, 반복 가능성 및 신뢰성을 제공하도록 설계된 고급 photoresist 장비입니다. 특허를받은 음향 결합 방열판 (acoustic-coupled heat sink) 기술을 활용하여 균일 한 저항 온도를 유지하며 0.4 미크론 정도의 임계 치수를 갖는 잘 정의 된 리소그래피 에치 패턴을 생성 할 수 있습니다. 이 시스템은 강력한 성능과 비용 효율성을 제공하여 고급 사진 (photolithography) 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.
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