판매용 중고 VERTEQ Flurocarbon RD4500 Classic #9158713
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VERTEQ Flurocarbon RD4500 Classic은 고급 리소그래피 응용 프로그램을 위해 설계된 업계 최고의 사진주의 장비입니다. 이 시스템은 설치 시간과 노력을 최소화하면서 정확하고 반복 가능한 (repeatable) 결과를 얻을 수 있습니다. 견고한 설계와 사용이 간편한 제어 장치 (Control Unit) 는 안정적인 작동과 낮은 유지 관리 작업을 보장합니다. 이 기계에는 8.2 인치 붕소 질화물 에치 챔버 (bon nitride etch chamber) 가 장착되어 있으며, 광유도 에칭, 금속 에칭 및 다양한 재료의 깊은 에칭과 같은 광범위한 응용 분야가 가능합니다. 이 에칭 챔버 (etching chamber) 는 반복 가능한 결과로 고품질 에칭을 달성하기 위해 기본 압력 1500 밀리바의 터보 펌프를 특징으로합니다. 이 챔버에는 디지털 가스 박스 컨트롤러와 공기, 산소, 질소, 헬륨, 수소 등 다양한 기능과 완전히 포괄적 인 안전 도구가 장착되어 있습니다. 에셋은 양수 (positive) 및 음수 (negative) 포토레지스트와 같은 다양한 포토레지스트 유형을 수용하도록 설계되었습니다. 여기에는 중간 크기의 패턴과 함께 사용하도록 설계된 중간 해상도 포토리스 (Medium Resolution Photoresist) 와 더 세밀한 노출 세부 사항을 위한 고해상도 포토리스 (Photoresist) 가 포함됩니다. 이 모델은 이미징 단계에 렌즈 (lens) 를 추가하여 더 높은 해상도의 작업을 달성 할 수도 있습니다. 이 장비에는 모든 이미징 기능이 있습니다. 고해상도 디지털 카메라가 장착되어 있어, 연구원들이 매우 상세한 이미지를 캡처할 수 있습니다. 또한 전송 또는 반사 이미징을 수행할 수 있으며 UV, LED, 광대역 등 다양한 조명 소스를 제공합니다. 이 시스템은 또한 많은 주요 CAD (Computer-Aided Design) 및 리소그래피 소프트웨어 패키지와 호환되며, 자동화된 공구 경로 생성 및 효율적인 부품 처리를 제공합니다. 최대 생산성을 보장하기 위해 장치에는 자동 클리닝, 로드, 언로드 시스템이 내장되어 있습니다. 이 도구는 챔버 (Chamber) 를 청소하고 노출 사이의 저항을 대체하는 데 필요한 시간과 노력을 줄이기 위해 고안되었습니다. 자산은 또한 노출 시간 정확도를 측정하는 자체 모니터링 기능을 제공합니다. 전반적으로 Flurocarbon RD4500 Classic은 신뢰할 수 있고 정확한 포토 esist 모델을 찾는 사람들에게 훌륭한 선택입니다. 종합적인 기능을 갖춘 이 장비는 다양한 리소그래피 (lithography) 애플리케이션에 적합합니다.
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