판매용 중고 VERTEQ DT 560M #124425
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ID: 124425
Resistivity monitors for VERTEQ 1800-6AL SRDs
Power requirements: 120V, 1-phase, 50/60Hz.
VERTEQ DT 560M은 고급 포토 리토 그래피 프로세스를위한 정밀 디지털 투과 포토 esist 장비입니다. 고해상도 광분해 (photolayout) 를 가능하게 하여 매우 단단한 기능과 밀도를 달성하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 고유하게 설계된 옵틱 (optics) 패키지를 갖추고 있으며, 무선, 컴퓨터 제어 도구로서 정확성과 반복성을 높입니다. DT 560M 은 최대 10 "미크론 '의 해상도 를 지닌 거대 한 시야 를 갖추고 있어서, 광범위 한 정밀 사진" 사이언티그래피' 공정 에 적합 하다. 이미징 장치는 긴 다이내믹 레인지 (dynamic range) 를 갖추고 있어 높은 양자 효율과 넓은 노출 위도를 제공합니다. 레이저 다이오드 (laser diode) 는 통합 웨이퍼를위한 조절 가능한 확산 할로겐 광원과 함께 매우 정확한 조명 제어를 제공합니다. VERTEQ DT 560M (VERTEQ DT 560M) 에는 특허받은 경용량 제어 장치가 장착되어 있어 각 공정의 노출 시간과 레이저 강도를 정확하고 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 기계는 자동 광 노출 제어를위한 인터페이스도 제공합니다. 이렇게 하면, 기계 연산자가 원하는 출력에 대한 노출 프로세스의 매개변수를 정확하게 설정할 수 있습니다. 또한 DT 560M 도구는 사용자 친화적이고 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 정밀 정렬 기능을 제공합니다. 에셋은 정확한 5 축 동작 인코딩을 제공하며 특허받은 자동 정렬 (auto-align) 방법은 정확한 교차 웨이퍼 정렬을 제공하도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 wafer 크기에 관계없이 패턴을 올바르게 정렬할 수 있습니다. 마지막으로, 모델에는 자동 웨이퍼 처리 소프트웨어 (photoresist patterning 프로세스 최적화) 가 포함되어 있습니다. 이를 통해 VERTEQ DT 560M은 매우 엄격한 공차로 고해상도 포토마스크를 만들 수 있는 효율적이고 신뢰할 수 있는 사진 촬영 장비입니다. 또한 이 소프트웨어는 작업 중에 문제가 발생할 수 있는 문제를 쉽게 해결할 수 있도록 설계되었습니다.
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