판매용 중고 VERTEQ Auto Processor #142257

ID: 142257
빈티지: 1990
Wet sink 208 Vac, 60 Hz, 20 Amp 1990 vintage.
VERTEQ Auto Processor는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 포토리스 장비입니다. 장치 제작 및 청소 과정에서 웨이퍼를 개발하고 에치하는 데 사용됩니다. 이 시스템은 포토 esist를 용해하는 데 사용되는 특수 화학 물질로 채워진 진공 제어 트로프 (vacuum-controlled trough) 를 갖춘 자동화된 개방형 루프 프로세스 제어 (open-loop process control) 를 사용합니다. 이 장치는 photoresist의 온도, 시간 및 동요를 제어하도록 프로그래밍됩니다. 이 기계는 포토 esist의 우발적 오염을 방지하는 안전 메커니즘을 내장하고 있습니다. 그것 은 "와퍼 '에 화학 물질 을 전달 하는 것 을 정확 하게 제어 하는 자동화 된 유체 전달 도구 를 갖추고 있다. 이 기능 은 원하는 양 의 화학 물질 을 "웨이퍼 '에 과도 하게 전달 해 준다. 또한, 에셋은 디지털 디스플레이 (digital display) 를 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 프로세스 진행 상황을 시각적으로 모니터링할 수 있습니다. 자동 프로세서는 빠르고 효율적인 웨이퍼 개발 및 에치 방법을 제공합니다. 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 분당 150mm 속도로 에칭 할 수 있으므로 프로세스 시간이 크게 단축됩니다. 이 모델은 또한 다양한 유형의 장치 구성 프로세스 (device fabrication process) 에 사용할 수있는 넓은 온도 범위를 특징으로합니다. 또한, 장비는 광범위한 화학 물질 및 포토 esist와 호환됩니다. 또한 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 와 내장형 진단 장치 (Diagnostic Unit) 를 통해 Photoresist 시스템은 사용 및 유지 관리가 용이하며, 사용자가 문제를 확인하고 해결하는 데 도움이 됩니다. 이 기계는 또한 낮은 유지 관리 요구 사항 (maintenance requirements) 을 갖추고 있습니다. 즉, 외부 지원을 요청하지 않고도 사용자가 photoresist 도구를 쉽게 유지 관리할 수 있습니다. 전반적으로 VERTEQ 자동 프로세서 (VERTEQ Auto Processor) 는 다양한 유형의 장치 제작 및 청소 프로세스에 사용될 수있는 뛰어난 포토레시스트 자산입니다. 쉽게 프로그래밍할 수 있고, 작동이 쉽고 유지 보수가 적습니다. 고급 (advanced) 기능을 통해 사용자는 포토레시스트 (photoresist) 요구 사항에 맞게 효율적이고 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공합니다.
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