판매용 중고 VERTEQ 1800 #9144794

VERTEQ 1800은 고정밀 리소그래피를위한 고급 포토 esist 장비입니다. VERTEQ에서 개발 한 1800 년은 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 제작과 LED 제조와 같은 광학 응용 분야에 사용되는 산업 등급 도구입니다. VERTEQ 1800에는 직경이 최대 9.5 "인 웨이퍼 크기를 처리 할 수있는 대형 10" x 20 "플레이트가 있습니다. 한 번에 여러 개의 웨이퍼를 처리하는 데 적합하며, 결함 발생률이 낮은 복잡한 구조와 디바이스를 효율적으로 생산할 수 있습니다 (영문). 이 시스템은 또한 자동 웨이퍼 처리 장치 (automated wafer handling unit) 를 구현하여 로더의 웨이퍼를 노출 챔버로 안전하게 운송합니다. 통합 된 전동 x-y 단계를 사용하여, 포토 esist는 조직적이고 반복 가능한 방식으로 분배된다. 정밀 리소그래피의 경우, 1800은 6축 리소그래피 헤드를 특징으로하며, 뛰어난 일관성으로 최대 4äm의 해상도를 촉진 할 수 있습니다. 이는 정밀 기어 구동 기계적 단계와 함께 작동하는 VMPS (Variable Mask Profile Machine) 를 사용하여 정렬 정확성을 보장함으로써 달성됩니다. 수동 (manual) 모드에서도 이 도구를 사용할 수 있으므로 사용자 정의 패턴을 빠르고 쉽게 만들 수 있습니다. VERTEQ 1800은 정교한 독점 소프트웨어로 구동되며, 이를 통해 사용자는 리소그래피 (lithography) 자산을 쉽게 제어하고 노출 시간, 해상도, 명암비 등의 변수를 최적화할 수 있습니다. 더 큰 제어를 위해, 모델은 다른 생산 도구와 상호 작용하여 자율 (autonomous) 작동을 가능하게합니다. 표준 기능 범위를 넘어 1800 년에는 다른 포토 esist 시스템과는 다른 몇 가지 엑스트라 (extra) 가 있습니다. 예를 들어, 장비에는 전용 기판 난방 기능이 있으며, 이는 고급 처리에 최적의 온도를 보장합니다. 이 시스템은 또한 몇 나노미터까지 기능 크기의 비파괴적 이미징을 위한 3D 이미징 기능을 통합했습니다. 마지막으로, 이 장치에는 다양한 정교한 안전 (safety) 기능이 제공되어 안전하고 생산적인 환경이 보장됩니다. VERTEQ 1800 (VERTEQ 1800) 은 복잡한 마이크로 일렉트로닉 및 광학 부품의 제조를 간소화하도록 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 포토리스 연주자 머신입니다. 대규모의 플레이트 크기와 정교한 통합 기능을 갖춘 1800 은 하이엔드 운영 환경에 이상적인 툴입니다.