판매용 중고 VERTEQ 1800 #293815958

제조사
VERTEQ
모델
1800
ID: 293815958
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1999
Spin Rinse Dryer (SRD), 6" P/N: 1075227 1999 vintage.
VERTEQ 1800 photoresist 장비는 광학 이미징을 통해 고해상도 패턴을 얻기 위해 설계된 고급 리소그래피 기기 및 photoresist 처리 시스템입니다. 이 장치는 고급 광학 현미경, 프로그래밍 가능한 단계 및 UHV (Ultra High Vacuum) 처리 챔버를 기반으로합니다. 반도체 및 광전자 부품의 빠르고 넓은 영역 제작에 중점을 두어 설계되었습니다. 이 기계는 XY 단계 (100mm x 100mm) 와 전동식 Z 스테이지가있는 스캐닝 형 투영 렌즈를 기반으로합니다. 수렴 또는 발산 빔 밀도와 각도 빔 크기를 생성 할 수있는 532nm 및 638nm 파장 레이저 소스를 가지고 있으므로 해상도가 높아집니다. 이 도구에는 최적의 조명 수준을 달성하기 위해 렌즈를 조정하는 빔 (beam) 과 강도 조정 다이얼 (intensity adjustment dial) 도 포함됩니다. 1800 photoresist 자산은 PMMA, AZ9260A, SU-8 및 SiH6-8과 같은 저항 재료를 포함한 광범위한 재료와 호환됩니다. 이 모델은 트랜지스터, 커패시터 등의 금속 장치 제작에도 사용될 수 있습니다. VERTEQ 1800 포토 esist 장비에는 고급 스캐너와 통합 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 스캐너는 리소그래피 프로세스 동안 표본 또는 샘플의 정확한 이동을 가능하게합니다. 챔버는 포토 esist 처리의 정확하고, 안전하며, 신뢰할 수있는 작동을 보장합니다. 이 시스템은 또한 프로세스 중 샘플에 대한 직접적인 손상을 방지하기 위해 셔터 장치 (shutter unit) 를 갖추고 있습니다. 이 기계는 완전히 자동화되어 있으며, 여러 개의 동시 처리가 가능합니다. 이 도구는 정확한 차단, 증착, 에칭 및 어닐링을 위해 설계되었습니다. 1800 photoresist 에셋에는 프로세스 최적화 및 제어를 위한 광범위한 소프트웨어 세트가 포함되어 있습니다. 또한 다양한 분석 (analysis) 및 후처리 (post-processing) 도구를 사용하여 각 구성 프로세스에 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. VERTEQ 1800 photoresist 모델은 고정밀 석판화 및 photoresist 처리를위한 현대적이고 다재다능한 도구입니다. 광범위한 기능과 소프트웨어를 통해, 정확하고 효율적인 샘플 제작을 지원합니다. 결과적으로, 그것은 많은 석판화 및 사진주의 처리 응용 분야에 대한 신뢰할 수 있고 저렴한 솔루션으로 인식됩니다.
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