판매용 중고 VERTEQ 1800-6AR #9328733

VERTEQ 1800-6AR는 마이크로 일렉트로닉 제작에 사용하도록 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 기계 모듈, 노출 모듈, 이동 테이블로 구성된 정렬 테이블을 기반으로 하는 모듈식, 고해상도, 1단계 photoresist 시스템입니다. 이 장치에는 정렬 테이블, 스테퍼/스캐너 모듈 및 스테퍼/마스크 정렬 모듈이 포함됩니다. 정렬 테이블에는 이중 축 (X, Y) 조절 가능한 선형 스테이지가 있으며 정밀도는 1.4 µm입니다. 스테퍼/스캐너 모듈은 전동 풀 조리개 telecentric 조명 장치, 자동 조정 초점 기계 및 전동 웨이퍼 스테이지로 구성됩니다. 스테퍼/마스크 정렬 모듈을 사용하면 마스크를 웨이퍼에 정확하게 오버레이할 수 있습니다. 이 도구는 고급 마이크로프로세서 제어 장치 (Advanced Microprocessor Control Unit) 에 의해 구동되며, 노출 프로세스의 모든 측면, 정렬 검사에서 픽셀 크기, 노출 시간을 제어할 수 있습니다. 이 자산에는 적외선 사전 노출, 노출 후 및 개발 프로세스를위한 풀 파워 컨트롤 모델 (full power control model) 이 포함 된 암실이 내장되어 있습니다. 이 장비에는 또한 UV 또는 I 라인 작업 챔버의 청결도 측정을위한 통합 입자 카운터 (particle counter) 와 입자/청소 활동 모니터링 (particle/cleaning activity monitoring) 이 있습니다. 1800-6AR는 최대 12 유로의 해상도를 제공하며 2.0 미크론 크기의 기능을 제공합니다. 이 시스템은 모든 경계 기능에서 20% 미만의 튜닝 대역폭 (FW/BW) 을 제공하며, 짧은 기능에서는 고해상도를 제공합니다. 이 장치는 사용자 친화적이며 자동 (automated) 또는 반자동 (semi-automated) 형식으로 작동할 수 있으므로 정확성을 저하시키지 않고 효율적인 워크플로를 만들 수 있습니다. VERTEQ 1800-6AR (VERTEQ 1800-6AR) 은 미세 전자 제조 응용 분야에서 뛰어난 실적을 가진 안정적이고 고성능 포토 esist 머신입니다. 다이나믹 레인지, 고해상도, 사용하기 쉬운 인터페이스, 통합 입자 카운터 등으로 인해 모든 microelectronics 실험실 및 생산 환경에 적합한 선택이 가능합니다.