판매용 중고 VERTEQ 1800-6AR #9228771

VERTEQ 1800-6AR는 마이크로 가공을 위해 특별히 설계된 포토 esist 장비입니다. 다중 열 구성을 사용하여 가장 정확한 photoresist 패턴을 만드는 진공 가능 기계입니다. 이 시스템은 패턴 정확도와 정밀도를 높이기 때문에 III-V 재료와 같은 매우 민감한 기판을 사용하여 작업할 때 특히 유리합니다. 이 단위의 중심에는 회전 단계 (rotary stage) 가 있으며, 이를 통해 기판을 XYZ의 6 방향 모두에서 이동할 수 있습니다. 6 축 로봇 암과 함께이 동작은 박막 저항층 (Thin Film Resist Layer) 을 배치하는 데 가장 높은 정밀도를 제공합니다. 로봇 암은 또한 한 쌍의 광자 에너지 소스 패널 (Photon Energy Source Panel) 의 캐리어 역할을하며, 이는 Photolithography 프로세스에 사용되는 UV 빛을 생성합니다. 1800 ~ 6AR 기계에서, 로봇 암과 회전 단계는 모두 2 개의 고성능 서보 모터에 의해 구동되며, 이는 광범위한 동작과 높은 반복성을 가능하게합니다. 뿐 만 아니라, 이 도구 에는 작동 환경 과 기판 을 일정하고 일관성 있는 열 수준 으로 유지 하는 "프로그램 '가능 온도 조절 도구 (programmable temperature control tool) 도 갖추어져 있어서, 가장 정확 한" 패턴' 을 달성 할 수 있다. 완벽하고 정확한 패턴을 만들기 위해 에셋에는 레이저 (Laser) 와 광학 정렬 모델 (Optical Alignment Model) 이 내장되어 있습니다. 이를 통해 기판을 포인트 바이 포인트 (point-by-point) 방식으로 노출시키는 동안 정확한 노출이 달성됩니다. 이것은 편차없이 균일 한 패턴화 경험을 보장합니다. VERTEQ 1800-6AR 장비에는 고급 데이터 처리 및 통신 솔루션도 장착되어 있습니다. 로봇 암 (robotic arm) 은 측정 시스템의 데이터를 컴퓨터로 직접 전송 할 수 있습니다. 여기서 프로그래머와 엔지니어는 루팅, 압력, 온도를 빠르게 조정할 수 있습니다. 이를 통해 시스템은 microfabrication 프로세스에서 가장 빠른 응답과 가장 큰 유연성을 얻을 수 있습니다. 탁월한 나노미터 (sub-nanometer) 정확도와 결합된 고정밀 제어 (high-precision control) 기능은 극도의 정확도와 해상도로 패턴을 만드는 데 이상적입니다. 또한, 이 기계는 오류 감지 및 자동 수정 기능을 제공하는 지능형 머신 로직 (Intelligent Machine Logic) 기능과 함께 통합되고 매우 상세한 오류 추적 시스템을 제공합니다. 이것은 완벽한 생산 출력을 보장합니다. 전반적으로, 1800-6AR (Microfabrication Process) 을 지원하는 다양한 기능과 기능을 갖춘 매우 정확한 포토리스 (photoresist) 도구입니다. 이 자산은 가능한 한, 인간 상호 작용 위험을 최소화하면서 최고 수준의 정확도를 제공합니다. 오토메이티드 로봇 (Automated Robot) 과 포토리스토그래피 엔진 (Photolithography Engine) 으로 배가되는 모델의 능력은 현대의 기술적 발전을 유지하며 가장 까다로운 마이크로패브라이션 (Microfabrication) 환경에서 정밀성을 제공 할 수 있습니다.