판매용 중고 VERTEQ 1800-6AR #9073860

VERTEQ 1800-6AR
ID: 9073860
웨이퍼 크기: 8"
Spin rinse dryer, (SRD), 8".
VERTEQ 1800-6AR (VERTEQ 1800-6AR) 은 고품질 리소그래피 마스크의 산업 생산을 위해 설계된 최첨단 사진 촬영 장비입니다. 이 시스템은 특히 마이크로 프로세서, 반도체 구성 요소 및 MEMS 구성 요소의 생산에 적합합니다. 마스킹 (Masking) 프로세스는 집적 회로 제조에서 중요한 단계이며, 1800-6AR (1800-6AR) 은 이러한 중요한 프로세스에 소요되는 시간과 비용을 줄여줍니다. VERTEQ 1800-6AR은 고성능 이온 빔 스퍼터링 유닛을 사용하여 photoresist를 기판에 증착시킵니다. 이 기계는 6 축 로봇 암 (robotic arm) 을 가지고 기질을 제어 및 균일 한 방식으로 움직이며, 기질의 모든 표면에 걸쳐 일관되고 정확한 포토 esist 드롭을 보장합니다. 이를 통해 정밀도가 높은 크고 복잡한 패턴을 만들 수 있습니다. 1800 ~ 6AR 에는 강력한 광원과 첨단 이미징 (advanced imaging) 툴이 장착되어 있어 저항의 적절한 노출이 보장됩니다. 노출 속도 (Exposure Rate) 를 조정하여 해상도에 영향을 주지 않고 저항을 신속하게 노출시킬 수 있습니다. 이미징 에셋은 또한 패턴 구조의 결함을 감지하여 결함 감지 및 관리를 쉽게 할 수 있습니다. VERTEQ 1800-6AR에는 화학 개발자 모델과 정밀 물 스프레이 장비가 내장되어 있습니다. 화학 발전기 "시스템 '은 빛 에 노출 되지 않은 과도 한 저항력 을 제거 한다. 이를 통해 패턴을 빠르고 정확하게 개발 할 수 있습니다. 정밀 물 "스프레이 '장치 는 사진술사 의 정확 하고 균일 한 세탁 을 보장 해 주며, 고품질 의 석판화" 마스크' 를 만든다. 고성능 기능 외에도 1800-6AR 에는 직관적인 사용자 인터페이스가 있습니다. 이렇게 하면 운영자에게 빠르고 쉽게 프로그래밍하고 마스킹 프로세스를 처음부터 끝까지 제어할 수 있습니다 (영문). 또한 VERTEQ 1800-6AR (VERTEQ 1800-6AR) 에는 마스킹 프로세스가 진행되는 동안 시스템 성능을 모니터링하고 문제를 감지할 수 있는 진단 기능이 내장되어 있습니다. 1800-6AR (1800-6AR) 은 신뢰할 수 있고 효율적인 포토리스 스틱 (photoresist) 도구로 집적 회로의 고품질 리소그래피 마스크를 생산할 수 있습니다. 고급 이미징 에셋, 고정밀 로봇 암, 직관적인 사용자 인터페이스를 갖춘 VERTEQ 1800-6AR (VERTEQ 1800-6AR) 은 정확성과 속도가 필요한 마스크 제작 프로세스에 이상적인 솔루션입니다.
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