판매용 중고 VERTEQ 1800-6AR #9070694
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ID: 9070694
Spin rinse dryer, (SRD), 8"
Single chamber
Connections: CDA/N2, DI In, N2 In, DI Out
Currently warehoused.
VERTEQ 1800-6AR 포토 esist 장비는 전 세계 많은 생산 프로세스에 중요한 구성 요소입니다. 이 시스템은 다양한 메소드 (method) 와 소재 소재 (material source material) 를 사용하여 기판을 제작, 청소, 수리할 수 있도록 해주는, 매우 유능하고 정교한 장치입니다. 이 기계는 광원이 내장 된 사진 마스크 정렬기와 정밀 저항 스피너 (precision resist spinner) 로 구성됩니다. photomask aligner는 일련의 미리 결정된 마스크를 사용하여 기판을 특정 모양으로 분할하는 데 사용됩니다. 그러면 광학 정렬 도구가 노출된 재료의 레이어를 적절하게 정렬합니다. 그 층 이 노출 된 후, 저항성 "스피너 '는 광저항 물질 을 기판 에 적용 시킨다. 다른 감광 물질을 사용하여, 여전히 민감한 영역을 유지하면서, 레이저 방사선에 대한 감수성을 보장 할 수있다. 정밀 저항 스피너 (precision resist spinner) 는 기판을 최대 18,000 RPM의 속도로 회전시켜 정확하고 정확한 레이어 증착을 보장 할 수 있습니다. 가장 높은 설정에서, 스피너 (spinner) 는 최소 편차의 기판에 균일 한 두께를 적용하여 정확한 레이어 배치를 가능하게 합니다. 또한 낮은 토크 레벨 (torque level) 이 특징이며, 연산자가 공정을 통해 기판을 움직이면서 일정한 회전 속도를 유지할 수 있습니다. 이 스피너에는 안전성 및 공기 민감성 물질이 오염되지 않도록 하기 위해 유출 방지 공기 지원 (Leak-Proof Air Support) 자산도 포함되어 있습니다. 이 모델에는 기판 위로 공기를 일정한 수준의 순도 (purity) 로 유지하는 온도 컨트롤러가 있습니다. 장비는 충전 중립 (charge-neutral) 이며, 추가 전원 공급 장치 또는 직접 전류 (direct current source) 를 사용하여 저항층을 기판에 바인딩할 필요가 없습니다. 이 기능은 오염을 줄이고 프로세스를 단순화하면서 레이어 배치 (layer placement) 의 정확성을 높입니다. 1800 ~ 6AR 포토레시스트 (photoresist) 시스템은 엄격한 공차로 구성 요소를 일관되게 구축하는 데 필요한 모든 기능을 갖춘 고도로 고급적이고 직관적인 장치입니다. 이 시스템은 상용 공급업체와 엔드 유저 모두를 위해 설계되었습니다.
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