판매용 중고 VERTEQ 1800-6AL #9255509

VERTEQ 1800-6AL 포토 esist 장비는 반도체, 광전자 및 생의학 적 구성 요소의 제조 및 처리에 사용되는 고정밀도, 자동화 및 유연한 PECVD 시스템입니다. 이 장치는 고급 튜브 레벨 난방실 (advanced tube-level heating chamber) 을 사용하여 기계의 포토 esist 화학, 증착률 및 전체 성능을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 1800 ~ 6AL 도구는 다양한 증기 증착 기술을 사용하여 뛰어난 필름 균일성 (film unifority) 과 두께 제어 (reproducibility) 를 가진 포토 esist의 등각 박막을 증착합니다. AC 소스, 마그네트론 스퍼터링 및 고압 PECVD 챔버가있는 멀티 파티트 에셋 (multi-parte asset) 을 사용하여 원하는 필름 구조를 처리하기 위해 최적화된 작동을 허용합니다. 교류원 (AC source) 은 방전실에 전압 제어 전기장을 만들어 고압 공정 기체를 자기 적으로 자극하는 데 사용된다. 고출력 마그네트론 스퍼터링 소스 (High-power magnetron sputtering source) 는 반응 챔버의 공정 가스와 반응하는 광증 물질의 활기 기화 된 방울의 제어 된 플럭스를 생성하기 위해 양극으로 사용된다. "플라즈마 '에서 의 공정" 가스' 의 반응 은 방울 들 을 광전물질 로 분해 시키고, 그것 을 얇은 "필름 '의 형태 로 기질 에 증착 시킨다. VERTEQ 1800-6AL (VERTEQ 1800-6AL) 모델은 매우 작동하기 쉽고, 전용 컨트롤러로 사용자가 프로세스 가스의 흐름 속도, 압력, 온도를 조정하고, 대상 필름 두께의 증착률을 모니터링할 수 있습니다. 기질의 온도는 전용 히터를 사용하여 정확하게 제어 할 수도 있습니다. 이 고도로 고급적이고 구성 가능한 기능으로, 이 장비는 두께, 곡물 크기, 통일성이 일관된 포토리스트 필름 (photoresist film) 을 최소한의 포스트 프로세싱으로 정확하고 안정적으로 배치할 수 있습니다. 또한 1800-6AL (Auto-Leveling) 편의성을 통해 운영자가 기판 전환 시간을 단축하고 프로젝트 간의 처리 시간을 단축할 수 있습니다. 이 기능은 더 큰 포토리스 (photoresist) 기판에 특히 유용하며, 증착판의 자동 레벨 조정 및 기판 정렬을 허용하여 수동 처리를 줄입니다. 이것은 인간의 오류의 위험을 크게 줄이고 생산 과정을 간소화합니다. 결국 더 빠른 처리량과 생산성 향상을 가능하게 합니다. 요약하자면, VERTEQ 1800-6AL은 뛰어난 필름 균일성과 정밀도로 포토 esist 증착을 고정밀 자동 제어하는 고급 PECVD 시스템입니다. 자동 레벨 설정 기능, 모니터링 된 기판 온도, 정밀 압력 및 온도 제어 (precision pressure and temperature control) 를 통해 반도체, 광전자 및 생의학 장치 제작 및 가공 산업에 널리 사용되는 강력한 도구입니다.