판매용 중고 VERTEQ 1800-6AL #293816934

ID: 293816934
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Spin Rinse Dryer (SRD), 8" 2000 vintage.
VERTEQ 1800-6AL은 고급 포토 esist 처리 장비입니다. 웨이퍼 및 기판의 개발, 패턴 지정 및 에칭을 위해 설계되었습니다. 이 시스템에는 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 직접 레이저 패턴, 포커싱 및 에칭이 가능한 고급 정렬 및 포토리스 (photoresist) 스테이션이 장착되어 있습니다. 이 장치는 최대 300mW의 UV 레이저를 사용합니다. "레이저 '는 높은 정확도 와 반복성 을 지닐 수 있으며, 정밀 하게 무늬 로 된 광사회적 구조 를 제공 한다. 초점 및 정렬 기계는 복잡한 구조와 기판을 처리 할 때 최적의 결과를 제공합니다. 공구의 포토 esist 스테이션은 스핀 코팅, 프리 베이킹, 개발 및 베이킹을 포함한 모든 포토 esist 프로세스를 처리하도록 특별히 설계되었습니다. 이 스테이션에는 저항층 두께를 정확하게 측정하기위한 자산도 포함되어 있습니다. 장비의 에칭 모델은 금속, 유전체 재료, 반도체 재료 등 다양한 유형의 재료를 처리 할 수 있습니다. 에치 레이트의 플럭스 (flux) 와 균일성 (uniformity) 을 제어하기위한 마이너스 압력 시스템을 갖추고 있다. 이 장치에는 적절한 에치 온도를위한 온도 컨트롤러도 포함되어 있습니다. 1800-6AL에는 시스템 제어 및 모니터링을위한 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 도구의 원격 작업 및 모든 결과 로깅을 수행할 수 있습니다. 고급 원격 진단 및 문제 해결 도구도 포함되어 있습니다. VERTEQ 1800-6AL (VERTEQ 1800-6AL) 은 복잡한 구조와 기판의 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수있는 직접 레이저 패턴화, 초점 및 에칭을 제공하는 고급 포토 esist 처리 자산입니다. 이 제품은 다양한 유형의 자료를 처리하도록 설계되었으며, 모델 제어 및 모니터링을 위한 통합 소프트웨어 (Integrated Software) 패키지를 포함하고 있습니다. 이 장비는 정밀도 및 고도로 제어 된 포토 esist 프로세스가 필요한 응용 프로그램에 이상적입니다.
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