판매용 중고 VERTEQ 1800-5M #9401930
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ID: 9401930
빈티지: 1997
Spin Rinse Dryer (SRD), 8"
Power supply: 120 VAC, 50/60 Hz, 15 A
1997 vintage.
VERTEQ 1800-5M은 반도체 제조 산업에 사용하도록 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 현재 운영 프로세스의 요구 사항을 충족하는 포괄적인 기능/기능을 제공합니다 (영문). 1800-5M은 다양한 크기와 모양의 웨이퍼를 구축, 정렬 및 처리하도록 설계되었습니다. 고급 정렬 시스템 (Advanced Alignment System) 을 통해 웨이퍼를 정확도가 높게 정렬할 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 처리 주기 (wafer processing cycle) 의 각 단계에 필요한 온도, 가스, 압력을 제어하기위한 정교한 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 장치에는 마이크로프로세서 제어 드롭 디텍터 (microprocessor-controlled drop detector) 도 있습니다. 마이크로프로세서 제어 드롭 디텍터 (microprocessor-controlled drop detector) 는 웨이퍼 표면에 존재할 수있는 작은 액체 방울을 감지하고 작업에 올바른 포토레지스트가 사용되는지 확인합니다. 또한 VERTEQ 1800-5M (VERTEQ 1800-5M) 은 사용자에게 친숙한 통합 인터페이스를 제공하여 시스템을 쉽게 프로그래밍하고 제어할 수 있습니다. 직관적인 인터페이스를 통해 공구 매개변수 (Tool parameters) 를 손쉽게 조정하고 조정할 수 있으며, 자산 성능을 실시간으로 파악할 수 있습니다. 1800-5M에는 여러 개의 자율 플랫폼 모듈이 포함되어 있어 photoresist 동시 처리가 가능합니다. 이를 통해 고정밀도, 고속 운영 및 생산이 가능합니다. 또한, 외부 공급 업체에 직접 연결하면 photoresist 및 기타 물질에 빠르고 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 또한 VERTEQ 1800-5M (VERTEQ 1800-5M) 에는 특히 고온 작동 중 사용자를 보호하기 위해 모델에 내장 된 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 여러 보호 장치 (예: 자동 종료 (Automatic Shutoff) 및 Fail-Safe) 작업이 포함되어 있어 장비 및 부품에 대한 손상 위험을 최소화할 수 있습니다. 전반적으로, 1800-5M은 반도체 제조 산업에서 사용하도록 설계된 고급 포토레스 시스템입니다. 현재 운영 프로세스의 요구 사항에 부합하는 포괄적인 기능/기능을 제공하며, 신뢰성 있는 고성능 장치 (HPS) 를 제공하여 정확도가 높은 결과를 빠르고 효율적으로 제공할 수 있습니다 (영문).
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