판매용 중고 VERTEQ 1800-50 #9383159
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VERTEQ 1800-50 포토 esist 장비는 패턴 전송 및 웨이퍼 생산을위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 플랫폼입니다. 반도체 장치, 디스플레이, 밀도 높은 컴포넌트 패키지 등 다양한 구성 요소를 생산하는 데 이상적입니다. 이 "시스템 '은" 포토리스토그래피' 공정 에서 효율성 과 정밀성 을 극대화 하도록 설계 된 여러 가지 특징 과 구성 요소 를 갖추고 있다. 완전하게 자동화된 고속 컨베이어 (Conveyor) 장치, 로드 플랫폼 및 언로드 플랫폼이 포함되어 있습니다. 언로드 플랫폼은 진공 보조 메커니즘을 사용하여 부드럽고 균일 한 로드 (loading) 및 언로드 작업을 제공합니다. 이 기계는 또한 최고로드 마스크 카세트 트레이를 특징으로하여 빠르고 쉬운 마스크 변경을 보장합니다. 또한, 자동 추적 장치 (Automatic Tracking Machine) 를 갖추고 있어 매우 정밀한 정렬을 위해 마스크를 웨이퍼에 정확하게 정렬합니다. 이 도구의 공정 챔버 (process chamber) 에는 뛰어난 조명을 위한 밝은 LED 조명뿐만 아니라, 마스크의 매우 정확한 위치를 위한 강력한 단계 및 반복 정렬 에셋이 장착되어 있습니다. 정교한 패턴 인식 (pattern recognition) 모델을 통해 연산자는 패턴을 신속하게 식별하고 웨이퍼 서피스로 정확하게 전송할 수 있습니다. 또한, 특정 생산 요구 사항을 충족하도록 장비를 사용자 정의할 수 있습니다. 시한 노출, 프로그래밍 가능한 처리, 자동화 및 고속 제조를 지원하는 고급 프로그래밍 가능한 레시피 풀 (Recipe Pool) 을 갖춘 소프트웨어입니다. 또한 마스크 정렬 및 노출 프로세스 (Mask Aligning and Exposure Process) 와 관련된 모든 프로세스를 자동으로 제어하고 관리할 수 있으며, 마스크 정렬 및 노출 프로세스의 오류를 감지하고 관리하는 포괄적인 진단 툴셋 (Diagnostic Toolset) 을 제공합니다. 이 시스템은 모듈식 (modular) 설계를 기반으로 설계되어 변화하는 제조 요구 사항에 빠르게 적응할 수 있습니다. 이 장치는 최첨단 안전 (State-of-art Safety) 기능을 사용하여 패턴 처리 과정에서 사용되는 조건을 시뮬레이션하고 효과적인 공기 정화 및 온도 조절을 제공합니다. 또한, 고효율 공기 스크러버 및 먼지 포수 (dust catcher) 는 깨끗한 환경을 보장하여 일관된 노출 수치를 허용합니다. 전반적으로, 1800-50 포토레시스트 머신은 다용도, 신뢰성, 비용 효율적인 솔루션을 찾는 반도체 제조업체에 적합한 선택입니다. 정밀 패턴 전송에 대한 가장 엄격한 요구 사항을 충족하는 한편, 웨이퍼 (wafer) 생산을 위한 효율적이고 신뢰성이 높은 플랫폼을 제공할 수 있습니다.
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