판매용 중고 VERTEQ 1800-50 #9383157

VERTEQ 1800-50 photoresist 장비는 photoresist lithographic 조작을위한 강력하고 고급 솔루션입니다. 최첨단 기술을 활용하여 긍정적 인 포토 esist 처리에 대한 최고 수준의 정밀도를 제공합니다. 이 시스템은 고급 옵틱을 사용하여 장치 수리/교체 및 기타 민감한 포토레지스트 (photoresist) 프로세스에 대한 최대 정확도와 성능을 제공합니다. 이 장치에는 한 번에 최대 50 개의 웨이퍼를 이동할 수있는 웨이퍼 처리 스테이션이 포함되어 있습니다. 또한 통합 이미지 정렬기와 마스크없는 리소그래피 헤드가 장착되어 있습니다. 이미지 정렬기 (image-aligner) 는 석판화 패턴 (lithographic pattern) 을 설계 레이아웃에서 웨이퍼로 정확하고 자동으로 전송합니다. 리소그래피 헤드 (lithography head) 에는 필기 과정을 모니터링하고 포토리스트 (photoresist) 의 적절한 정렬을 확인하는 데 사용되는 카메라가 있습니다. 또한 "포토레지스트 '를 상상 하는 데 사용 되는 빛 의 근원 이기도 하다. 기계에는 고정밀 자동 웨이퍼 (automated wafer) 위치가 있으며, 이는 여러 웨이퍼에서 패턴의 반복 정확성을 보장하는 데 사용됩니다. 또한 파퍼 (wafer) 기판에 올바른 수준의 용매를 적용하고 패턴 처리 중에 제자리에 고정시키는 포토-레지스트 (photo-resist) 코터가 포함되어 있습니다. 도구의 자동 제어 (Automatic Controls) 를 통해 노출 시간, 정렬 및 도핑을 수행할 수 있습니다. 자산의 자동 컴포넌트 외에도 1800 ~ 50 (1800-50) 은 수동 정렬 프로세스를 특징으로하며, 이를 통해 기판 패턴화를 빠르고 정확하게 수정할 수 있습니다. 이 모델에는 패턴화 프로세스 (patterning process) 에서 오류 또는 오작동을 감지하는 데 도움이 되는 정교한 경보 장비도 포함되어 있습니다. 마지막으로, 시스템에는 진단 및 분석 (diagnostic and analysis) 패키지가 장착되어 있어 웨이퍼 (wafer) 및 해당 패턴에 대한 자세한 평가가 가능합니다. 이 분석 (analysis) 패키지에는 패턴의 품질을 결정하는 고급 패턴 분석 엔진 (advanced pattern analysis engine) 이 들어 있으며, 생성된 데이터의 모든 이상을 감지할 수 있습니다.