판매용 중고 VERTEQ 1600 #9300474

VERTEQ 1600
제조사
VERTEQ
모델
1600
ID: 9300474
웨이퍼 크기: 6"
Spin Rinse Dryers (SRD), 6".
VERTEQ 1600 (VERTEQ 1600) 은 신뢰성과 사용자 친화성을 유지하면서 높은 정확성과 반복성을 제공하도록 설계된 정밀 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 반도체 및 유사한 박막 장치 제작 산업에서 높은 정확도 에칭 (etching) 및 저항 (resist) 스트리핑에 이상적입니다. 이 장치는 자동 (automated), 자체 포함 장치 (self-contained unit) 로, 원본 포토 esist 필름 이외의 추가 외부 라인 또는 공급 장치가 필요하지 않습니다. 이 기계는 단면 또는 양면 연산을 지원하며, 다양한 포토 esist 필름 두께 및 수지 특성을 수용합니다. 1600 년은 특수한 고속 간섭계 (interferometric stage) 를 활용하여 사진주의 필름의 넓은 영역에 걸쳐 에칭과 스트립의 전례없는 균일성을 달성합니다. 이 단계 를 통하여 그 도구 는 "레지스트 '" 필름' 에 정확 하게 위치 하고 "레이저 '광선 을 편광 하고" 마스크' 모양 과 크기 에 비하여 광선 을 배치 할 수 있다. 에셋은 또한 정확한 통과/고장 진단 (pass/fail diagnostics) 모델을 갖추고 있어 품질 제어를 위해 빠르고 쉽게 테스트할 수 있습니다. VERTEQ 1600 (VERTEQ 1600) 에 의해 달성 된 정확한 수준의 제어 및 균일성 (unifority) 은 박막 재료의 손상 또는 오염 위험없이 에칭과 스트리핑이 빠르고 정확하게 수행되도록 보장합니다. 또한, 추가 외부 공급이 필요하지 않기 때문에, 이 장비는 주변 환경의 위험한 오염의 위험이 감소하여 작동합니다. 이 시스템은 직관적인 사용자 인터페이스를 갖추고 있으며, 쉽게 이해할 수 있는 알람과 명령을 제공합니다. 각 장치 명령에는 photoresist etching/stripping 프로세스에 대한 정밀 제어를 허용하는 2 개의 매개 변수가 있습니다. 그 에 더하여, 기계 에는 공기 의 온도 와 흐름 속도 를 조절 할 수 있는 강력 한 "에어나이프 '도구 가 장착 되어 있다. 1600의 다재다능성과 정확성은 박막 장치 제작 (Thin Film Device Manfrication) 업계에서 매우 뛰어난 선택으로, 정확하고 안정적인 포토레시스트 에칭 및 스트리핑이 필요합니다. 사용자가 오염이나 손상 위험을 감수하지 않고 박막 (Thin film) 에서 포토레지스트 (photoresist) 를 에치하고 스트립할 수 있는 자산을 찾고 있다면 VERTEQ 1600 (VERTEQ 1600) 이 이상적인 모델이다.
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