판매용 중고 VERTEQ 1600 #9226189

제조사
VERTEQ
모델
1600
ID: 9226189
웨이퍼 크기: 6"
Spin dryer, 6".
VERTEQ 1600은 정확하고 빠른 포토 esist 증착을 위해 VERTEQ Corporation에서 개발 한 고급 포토 esist 장비입니다. 이 포토 esist 시스템은 마이크로 일렉트로닉 응용을위한 고 처리량 저항 코팅이 가능합니다. 그것 은 정밀 한 양 의 "포토레지스트 '물질 을 기판 에 분배 시켜 여러 층 으로 매초" 인치' 에 놓을 수 있다. 1600은 최대 17 cm2/분의 속도로 대용량 생산에 적합한 처리량을 제공합니다. 이 장치에는 정확하고 정확한 코팅 및 레벨링을 위해 가변 속도와 전력 제어가 있습니다. 이를 통해 사용자는 기판 (기판) 의 영역에 걸쳐 최소한의 변광성으로 광미주의 (photoresist) 의 균일 한 두께를 기판에 전달할 수 있습니다. 이 시스템에는 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능도 제공됩니다. 프로세스 데이터 및 키 매개 변수 (예: 두께 값, 분배 속도, 총 처리 시간) 는 저장되며 원격으로 모니터링하고 액세스할 수 있습니다. 이 도구는 또한 그래픽 사용자 인터페이스를 제공하여 작업을 쉽고 편리하게 수행할 수 있습니다. VERTEQ 1600에는 정확한 배송 및 수준 제어를 위해 통합 분배 헤드가 장착되어 있습니다. 이 자산은 두껍고, 매우 얇은 점도에 이르기까지 모든 유형의 액체 광저장제 (photoresist material) 를 분산시킬 수 있습니다. 디스펜스 헤드 (Dispense Head) 는 모바일 방식으로 전체 기판 영역에 대한 적용 범위를 최적화할 수 있습니다. 이 모형 은 또한 "포토레지스트 '물질 을 증착 할 때 기판 의 인접 한 위치 를 정확 하게 추적 하고 영상 하는 고급" 비전' 장비 를 갖추고 있다. 고급 시력 시스템 (Advanced Vision System) 을 사용하여 1600은 기판의 모든 영역에 정확한 포토 esist 증착을 전달하여 매우 반복 가능한 패턴을 만들 수 있습니다. 이 장치는 쉽게 설치하고 작동할 수 있도록 설계되었습니다. 내장된 안전 프로토콜 및 자체 테스트 모드를 통해, 일관되고 안정적인 성능을 보장합니다. 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 통해 사용자는 최대 25 개의 맞춤형 레시피를 만들어 시간과 비용을 절감할 수 있습니다. 전반적으로 VERTEQ 1600은 신뢰할 수있는 정확성과 처리량을 제공하는 고급 포토레지스트 머신입니다. '마이크로일렉트로닉 (microelectronic)' 생산 공정을 최적화하고 탁월한 포토레지스트 증착을 달성할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. 사용자는 탁월한 성능, 신뢰성 및 탁월한 프로세스 제어를 보장합니다.
아직 리뷰가 없습니다