판매용 중고 VERTEQ 1600 #9226188

제조사
VERTEQ
모델
1600
ID: 9226188
웨이퍼 크기: 6"
Spin dryer, 6".
VERTEQ 1600은 1.6m x 1.6m 기판을 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 특허를 획득한 HDR (High Dynamic Range) 이미징 프로세스와 515nm 레이저 어레이를 활용하여 대형 기판에 걸쳐 최적의 이미징 정확성과 균일성을 제공합니다. 독보적인 HDR 프로세스는 후광 효과 또는 기타 이미지 왜곡없이 더 빠르고, 더 깨끗한 노출이 가능합니다. 1600은 기판 왜곡 및 핀홀을 피하면서 에너지 민감성 기판에 대해 더 높은 해상도의 이미징 (imaging) 과 더 빠른 샷 (shot) 시간을 달성하기위한 고급 노출 알고리즘을 가지고 있습니다. 또한 최대 이미지 일관성을 위해 동봉 된 318nm UV 소스 챔버와 정밀 석판 처리를 위해 180 미크론 최소 해상도를 사용합니다. VERTEQ 1600 (VERTEQ 1600) 은 자동화된 기판 정렬 시스템을 통해 원활하고 반복 가능한 배치 처리 및 생산성 향상을 지원합니다. 사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스를 통해 바이어스 필드, 조리개 제어, 정량적 해상도, 등방성 제어 (isotropic control) 와 같은 작업별 작업에 대한 프로그래밍이 용이합니다. 또한, 1600은 여러 형태의 기판 동작 제어를 지원하여 기존 시스템보다 더 복잡한 패턴을 복제 할 수 있습니다. 광범위한 프로세스와 기능을 통해 VERTEQ 1600 은 모든 유형의 애플리케이션을 위한 다양한 툴이 됩니다. 실험 개발 및 생산 프로세스에 이상적이며 인쇄 회로 기판, 평면 패널 디스플레이, 고해상도 리소그래피, 반도체 장치, 광학 장치 제조에 널리 사용됩니다. 또한 1600 은 에너지 효율성과 지속 가능성을 극대화할 수 있도록 설계되었으며, 스마트 운영 장치 (Smart Operation Unit) 를 갖추고 있으며, 폐기물 또는 배출량이 없습니다. 이 기계는 또한 쉽게 확장 가능하여 연구, 교육, 산업 프로세스에 이상적인 선택입니다.
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