판매용 중고 VERTEQ 1600 #9219679

VERTEQ 1600 photoresist 장비는 다양한 기판에서 집적 회로 제작을위한 최첨단 도구입니다. 직경 75mm ~ 450mm 범위의 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 수직 스캔 전자 빔 (VSEB) 리소그래피 프로세스를 기반으로합니다. 이 장치는 1/2 미크론 이상의 크기까지 뛰어난 해상도와 패턴 기능을 제공합니다. 1600 은 고급 BMS (Beam Control Machine) 를 갖추고 있어 빔 정렬을 정확하게 제어하고 웨이퍼 표면에 집중할 수 있습니다. 이렇게 하면 공구에 의해 생성된 모든 패턴이 매우 정확하고 정확합니다. 이 에셋은 또한 정렬을위한 내장 광학 현미경, 모든 정렬 매개 변수에 대한 자동 교정 루틴, 빠르고 정확한 단계, 빠르고 정확한 오버레이 루틴 (overlay routine) 등 여러 가지 유리한 기능을 제공합니다. 또한, 이 모델은 고급 웨이퍼 로딩 장비와 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. VERTEQ 1600은 리소그래피 프로세스를 용이하게하기 위해 다양한 표준 사진 연주자를 사용합니다. 이들 "포토레지스트 '는 여러 가지 형태 의 기판 과 공정 으로 사용 하도록 조정 될 수 있으며, 최대한의 유연성 과 정확 한 특징 공학 을 제공 한다. 또한, 이 시스템은 레이저 스캔 사진 촬영 및 접촉 리소그래피 (contact lithography) 를 포함한 다양한 노출 방법을 제공합니다. 이렇게 하면 피쳐를 생성할 때 최대 정확도 (maximum accurity) 가 허용되며, 노출된 영역이 다른 피쳐에 의해 제압되지 않도록 합니다. 전체적으로 1600 개의 포토레시스트 (photoresist) 장치는 고품질 집적회로를 생산하기 위한 강력하고 안정적인 도구입니다. 고급 빔 정렬 기계, 정확한 웨이퍼 스테이지, 고해상도 포토리스트 및 여러 리소그래피 방법이 모두 결합하여 정확하고, 정확하며, 반복 가능한 결과를 생성합니다. 따라서 VERTEQ 1600은 고성능 마이크로일렉트로닉스를 위한 탁월한 선택입니다.