판매용 중고 VERTEQ 1600 #293810265
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VERTEQ 1600 (VERTEQ 1600) 은 반도체 산업에서 사진 해설을 용이하게하도록 설계된 최첨단 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 고강도 울트라 바이올렛 광원을 사용하여 서브미크론 회로 (submicron circuit) 요소를 제작하는 에치 마스크 (etch mask) 역할을하는 포토리스 필름 (photoresist film) 을 정확하게 노출시킵니다. 이 장치는 4k 픽셀 크기와 큰 8 "x8" 해상도 마스크를 특징으로하며 64mm x 64mm 기판의 노출에 적합한 고품질 사진 사진 촬영 성능을 제공합니다. VERTEQ는 또한 쿼드 웨이브 (Quad-Wave) 이미징 머신을 사용합니다. 이 머신은 4 개의 노출 광파를 선형 또는 나선 스캐닝 패턴으로 회전시켜 매우 고품질 이미지에 도달함으로써 고정밀 노출이 가능합니다. 이 도구는 또한 일관된 결과를 보장하기 위해 높은 정확도 제어 에셋을 갖추고 있으며, x-y 위치 7 ~ 10 um, 반복 가능성 25 ~ 50 nm의 초점 제어를 유지할 수 있습니다. 또한 완전 자동 작동 모드 (Fully Automated Operating Mode) 를 통해 사용자가 노출 매개변수와 반복을 프로그래밍할 수 있습니다. 1600 년에는 UV 방사선에 노출되지 않도록 하는 인터 록 (interlock) 모델, 외부 조명으로부터 웨이퍼가 차폐되도록 하는 커버 (cover), 정확한 처리를 보장하는 높이 조정 센서 (height adjustment sensor) 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이 장비는 사용 및 유지 보수가 용이하도록 설계되었으며, 서로 다른 제작 장소 (fabrication location) 로 편리하게 전송할 수 있도록 작고 가볍습니다. 또한 에너지 효율성 (energy efficient) 이며, 비용이 많이 드는 소모품의 필요성을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로, VERTEQ 1600 (VERTEQ 1600) 은 고급 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 포토리스 시스템입니다. 이 장치는 고밀도 노출 하위 시스템, 자동 작동, 사용자 친화적 설계, 안전 기능 등 다양한 이점을 제공합니다.
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