판매용 중고 VERTEQ 1600-55A #9124029

VERTEQ 1600-55A는 반도체 제조 응용 분야에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 정밀하고 벤치 장착 된 머신 (bench mounted machine) 은 광석판 처리를 위해 반도체 웨이퍼에 적용되는 저항의 박막 (thin film of resist) 을 만드는 데 사용됩니다. 이 시스템은 정밀 광학 정렬 장치 (Optical Alignment Unit) 를 갖추고 있으며, 정밀도 및 반복성이 높은 포토 esist를 적용하는 데 사용될 수 있습니다. 1600-55A에는 200mm, 150mm 또는 100mm 웨이퍼를 최대 800µm 두께로 수용 할 수있는 55A 웨이퍼 로더가 포함되어 있습니다. 빠른 주기 시간이 있으며 초당 4 개의 웨이퍼 스탑 (wafer stop) 을 만들 수 있으므로 처리량이 높습니다. 이 기계는 또한 웨이퍼 로딩, 구동 및 위치를 위해 Step Motor/Drive 및 External Air Cylinder로 구동되는 외부 공기 실린더를 갖추고 있습니다. 포토 esist 분배 도구에는 3 개의 펌프 (음성 디지털의 경우 2 개, 양성 분배의 경우 1 개) 와 압력 조절기 및 혼합 밸브가 포함됩니다. 빠른 변경 (Quick Change) 프로그래밍 가능 기능이있는 스텝 스프레딩 및 코너 마스킹과 같은 프로그래밍 가능한 코팅/마스킹 기능이 있습니다. 자산은 고정밀도, 반복 가능, 균일 한 저항을 웨이퍼에 적용 할 수 있습니다. 포토 esist 모델에는 1024 포인트 선형 인코더 (linear encoder) 와 직접 디지털 제어 장비를 결합하여 전체 포토 마스크 변경 프로세스 전반에 걸쳐 정확성과 반복성을 유지합니다. 또한 정전하를 제거하기위한 정전기 장치 (Anti-Static Device) 가 장착되어 코팅 필름과 웨이퍼에 손상이 발생하지 않습니다. 이 기계는 표준 청소실 요구 사항을 충족하도록 설계 및 제조되었습니다. 또한 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 에폭시 코팅 (epoxy coating) 의 조합으로 산과 알칼리 화학 물질에 대한 장기적인 내성을 보장합니다. 요약하자면, VERTEQ 1600-55A photoresist 시스템은 정밀도, 반복성, 균일성이 높은 반도체 웨이퍼에 photoresist의 박막을 적용하는 데 사용되는 정밀하고 벤치 장착 된 기계입니다. 반도체 제조에 사용되도록 설계되었으며, 다양한 프로그래밍 가능한 코팅/마스킹 기능이 포함되어 있습니다. 또한 표준 청소실 요구 사항을 충족하며 내구성이 뛰어난 재료로 만들어집니다.