판매용 중고 VERTEQ 1600-55A #293711667

VERTEQ 1600-55A는 포토 esist의 반 자동 개발, 스트리핑 및 코팅을 위해 설계된 고급 자동 포토레스 처리 장비입니다. 그것 은 강력 한 "레이저 '로서" 웨이퍼' 기판 위 에 광유전물 을 정확 하고 정확 하게 무늬 할 수 있다. photoresist는 최적의 처리를 위해 카트리지에서 분배됩니다. 또한, 1600-55A에는 패턴화 전에 포토 esist의 베이스 레이어를 적용 할 수있는 모터가 장착되어 있습니다. VERTEQ 1600-55A는 광저항 패턴을 정확하게 찾을 수있는 고해상도 광학 이미징 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 모서리 감지 측정 (edge-detection measurements) 을 사용하여 기존 감광 기능 위에 위치를 직접 배치할 수 있습니다. 이 기능은 photoresist 패턴화 프로세스의 단계를 제거하여 더 빠른 주기 시간을 보장합니다. 1600-55A는 또한 온도 및/또는 용매 혼합을 용이하게하기위한 자체 포함 난방 모듈을 갖추고 있습니다. 이 모듈은 표준 실험실 크기에 최대 10 개의 용매를 수용 할 수 있으며, 최대 16 개의 다른 혼합 레시피를 저장할 수 있습니다. 이 "모듈 '은 포토레지스트' 를 신속 하게 처리 하기 위하여 외부 로 가한 열 과 함께 사용 될 수 있다. 또한, VERTEQ 1600-55A는 다양한 압력에서 감광제를 정확하게 적용하기 위해 동적 흐름 셀을 사용합니다. 이는 유체 유량을 조절하고 저항 오염을 감소시켜 웨이퍼 전체에 균일 한 저항 두께를 보장합니다. 1600-55A의 레이저 구성은 다른 레이저 파장, 펄스 패턴 (pulse pattern), 노출 시간 (exposure time) 을 선택하여 사용자의 원하는 사양에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 안전성 측면에서, VERTEQ 1600-55A (VERTEQ 1600-55A) 는 비상 사태가 발생할 경우 기계를 자동으로 차단하는 방화 (Fire Prevention) 구성 요소로 설계되었습니다. 사고 를 더욱 예방 하기 위해, 이 도구 는 "레이저 '방사선 으로부터" 오퍼레이터' 의 눈 과 피부 를 보호 하기 위한 안전 차폐 로 설계 되었다. 또한 냉각 에셋이 내장되어 있으므로 모델이 과열되지 않도록 할 수 있습니다. 전체적으로, 1600-55A는 효율적이고 정확한 저항 패턴을 제공하는 고급, 자동 포토리스 처리 장비입니다. 산업에서 연구개발 (R&D) 에 이르기까지 다양한 분야에 이상적이다.