판매용 중고 VERTEQ 1600-34 #293609203

제조사
VERTEQ
모델
1600-34
ID: 293609203
빈티지: 1997
Spin Rinse Dryer (SRD) 1997 vintage.
VERTEQ 1600-34는 photolithography를 사용하여 다양한 기판에 패턴을 만드는 photoresist 장비입니다. 최대 1 미크론 해상도의 패턴을 인쇄 할 수있는 중급 시스템입니다. 두 개의 별도 램프 (자외선) 를 사용하며, 다른 하나는 가시 방사선 (visible radiation) 을 사용하여 기판에 빛을 투영합니다. 자외선과 가시 광원은 모두 장치의 엑시머 램프 (excimer lamp) 에 의해 제공됩니다. 인쇄 과정에서 미리 디자인된 패턴이 있는 미리 만들어진 포토마스크 (photomask) 가 기판 위에 놓인 다음, 광원에 노출됩니다. 패턴은 광저항 폴리머를 통해 기질로 전달됩니다. 이 기계는 포토 마스크 (photomask) 와 관련하여 기판을 매우 정확하게 배치 할 수있는 매우 정확한 XY 스테핑 플랫폼을 갖추고 있습니다. 또한, VERTEQ 도구에는 photoresist 패턴 품질 검증을위한 카메라가 장착되어 있습니다. 이 자산은 다용도가 높으며, 회로 인쇄 (printing of circuit) 및 기타 미세 구조 (microsstructure) 를 포함한 다양한 응용 프로그램에 사용될 수 있습니다. 이 제품은 주로 집적 회로, 평면 패널 디스플레이 및 박막 (thin film) 또는 나노 재료 (nanomaterials) 의 정확한 패턴화가 필요한 기타 장치의 생산에 사용됩니다. 유연성 때문에 소형에서 대형까지 다양한 크기의 기질을 수용 할 수 있으며, 다양한 유형의 포토레지스트 (photoresist) 재료를 지원합니다. 온도 및 가스 제어 (gas control) 와 같은 고급 기능으로 인해 스핀 코팅, 스프레이, 몰입 등 다양한 유형의 사진 촬영 프로세스에 적용할 수 있습니다. 1600-34는 매우 안정적이며 패턴 프로세스에서 높은 수율을 제공합니다. 최소한의 유지 보수 요건으로 설계되었으며 조용하게 운영되므로 연구실과 생산선 (production line) 에 적합합니다. 게다가, 비상 사태의 경우 자동 차단 (automatic shut off) 과 같은 고급 안전 기능이 통합되어 있습니다.
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