판매용 중고 VERTEQ 1600-34 #293590150

제조사
VERTEQ
모델
1600-34
ID: 293590150
Spin Rinse Dryer (SRD).
VERTEQ 1600-34 Photoresist Equipment는 전자 산업을위한 웨이퍼 레벨 집적 회로 생산을 돕기 위해 설계된 고정밀 코팅 및 이미징 시스템입니다. 이 장치는 일관된 이미지 품질과 균일성, 그리고 처음부터 끝까지 빠르고 정확한 코팅 (coating) 및 이미징 (imaging) 기능을 갖춘 사진 리토그래피 성능을 제공합니다. 이 기계에는 정밀 모션 플랫폼, 고성능 광학 부품, 자동 프로세스 제어 (automated process control) 가 장착 된 진공 코팅 챔버가 있습니다. 1600-34 도구는 300-600mm 설치 공간을 제공하며 정확하고 반복 가능한 코팅 및 이미징 결과를 위해 설계되었습니다. 진공 코팅 챔버 (vacuum coating chamber) 는 정확한 공차와 온도 조절로 구성된 2 매 천공 된 스테인레스 스틸 벽으로 구성되어 균일 한 환경을 보장하고 열 드리프트를 최소화합니다. [위쪽], [아래쪽] 및 [측면 격자] 세트는 패널의 전체 길이를 따라 정밀하게 배치됩니다. 코팅 챔버에는 추가 로드 또는 언로드 없이 기판 정렬 및 배치 (placement) 와 같은 다기능 작동이 가능한 정확한 동작 플랫폼이 있습니다. 자산의 고급 광학 부품 (Optical Component) 은 이미지 전체에서 밝고 균일 한 해상도를 보장하고 경량 (Light Efficiency) 을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 광학 단계에는 정밀 반사 또는 진공 코팅, UV 및 UV 가시 광원, 정확한 위치 측정을위한 간섭계가 장착되어 있습니다. 자동화된 프로세스 제어를 제공하기 위해 VERTEQ 1600-34 Photoresist Model (VERTEQ 1600-34 Photoresist Model) 은 프로그램 가능한 수준의 프로세스 제어를 갖춘 내장형 PLC 컨트롤러를 갖추고 있으며, 이를 통해 고객은 제품의 특정 요구 사항에 맞게 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 고객은 또한 프로그래머블 (programmable) 로직 컨트롤러를 사용자 정의하여 레이어 두께, 균일성 및 기타 매개변수를 설정하여 최적의 프로세스 성능을 설정할 수 있습니다. 이 장비는 또한 사용자 친화적이고 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 사진 처리 작업에 쉽게 액세스, 제어, 관리할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 최대한의 안전성과 효율성을 위해 설계되었습니다. 내장형 벤트 머신 (Vent Machine) 은 공중 오염을 방지하는 반면, 통합 압력 관리 장치 (Integrated Pressure Management Unit) 및 비상 정지 기능 (Emergency Stop Feature) 이 포함되어 있습니다. 1600 ~ 34 Photoresist Tool은 정확하고 반복 가능한 코팅 및 이미징 기능이 필요한 회사에 이상적인 선택입니다. 이 자산은 모든 고객의 특정 애플리케이션에 따라 변경될 수 있는 탁월한 성능과 프로세스 (process) 를 제공합니다.
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