판매용 중고 VERTEQ 1600-3 #9209716

VERTEQ 1600-3은 정밀 웨이퍼 처리를 위해 설계된 전용 포토 esist 장비입니다. 이 입증 된 시스템은 반도체 산업에서 포토리스 코팅 (photoresist coating), 노출 (exposure), 사진 구조 개발 (developing of photo-structure) 과 같은 중요한 프로세스에 대한 높은 반복 가능한 품질 결과를 달성하기 위해 널리 사용됩니다. 1600-3은 컴팩트한 캐스트 알루미늄 프레임 (cast-aluminum frame) 을 가지고 있어 모바일 및 산업 응용 분야에 가볍고 견고합니다. 와퍼 플레이트의 최적의 수직 위치에 대한 전체 컨투어, z축 높이 조정 장치 (full-contour, z축 height adjust unit) 가 특징입니다. 또한 균일 한 노출 균일성을 보장하기 위해 회전 웨이퍼 클램프가 장착되어 있습니다. 이 기계에는 뛰어난 광학 성능을 위해 자동 초점이 있는 전체 스펙트럼, 제논 기반 이미지 프로젝터가 포함되어 있습니다. 다양한 소프트웨어 모듈 (Software Module) 에서 지원되며, 다양한 사진 해상도를 생성하고 노출 에너지의 흐름을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 버테크 1600-3 (VERTEQ 1600-3) 웨이퍼 플레이트의 정확한 위치 지정 및 스캔을 가능하게하는 포괄적 인 색인 도구가 있으며, 코팅, 노출 및 개발 프로세스를위한 2 개의 사전 설치된 공정 챔버가 있습니다. 코팅 소재의 균일 한 분포를위한 스테인리스 스틸 플래튼 (stainless steel platen) 과 잔여 포토 esist 소재를 제거하기위한 역 사이드 플래튼 (reverse side platen) 이 함께 제공됩니다. 모든 기능은 선명하고, 풀 컬러 그래픽과 간편한 사용자 친화적 (user-friendly) 메뉴가 포함된 엔클로저 터치스크린 사용자 인터페이스를 통해 제어됩니다. 1600 ~ 3 에는 종합적인 포토레스 화학 키트 모음과 웨이퍼 트위저, 캐리어, 교반기 등 다양한 액세서리가 제공됩니다. 자산은 사전 검증되었으며 직경이 최대 13 인치 인 기판을 처리하는 데 사용할 수 있습니다. VERTEQ 1600-3 (VERTEQ 1600-3) 은 전문적이고 고품질의 p hotoresist 모델로 다양한 중요한 포토 esist 프로세스에 우수한 결과와 사용 편의성을 제공합니다. 중소형 (Small Size) 은 다양한 환경에서 사용할 수 있게 해 주며, 탁월한 성능 특성을 지닌 신뢰성, 반복 가능한 솔루션을 찾는 사람들을 위한 완벽한 솔루션입니다.