판매용 중고 VERTEQ 1600-3 #9196056

VERTEQ 1600-3은 다양한 저항을 이미징하기위한 최첨단 3 빔 광석기 장비입니다. 고급 레이저 소스, 광학 시스템, 민감한 광학 탐지기 (optical detector) 를 갖추고 있어 정확한 결과를 보장합니다. 이 장치는 큰 기판에 대해 가변 저항의 두께를 이미징 할 때 높은 처리량, 고해상도, 높은 처리량 정확도를 제공합니다. 1600 ~ 3 년은 3 개의 별개의 레이저 빔을 사용하여 넓은 영역 스캔을 허용하며, 근거리 광학 탐지기 (optical detector) 는 광범위한 저항 두께에 걸쳐 정확한 결과를 보장합니다. "레이저 '소스 는 높은 처리량 을 제공 할 수 있는 견고 한 제어" 소프트웨어' 에 의하여 구동 된다. 이 광학 시스템에는 특허를 받은 Nano Feedback (TM) 기술이 적용되어 있으며, 이 기술은 정확성과 처리량을 최적화하기 위해 이미징 조건을 적극적으로 모니터링합니다. 내장 레시피 관리 머신은 프로세스 매개 변수의 빠른 레시피 편집 및 보정을 허용합니다. 이 도구는 또한 모듈 식이며, 프로덕션 석판화 응용 프로그램에 맞게 구성 될 수 있습니다. 기판 처리, 기판 장착 및 기판 간격 제어에 대해 다양한 기판 관리 옵션을 사용할 수 있습니다. VERTEQ 1600-3 자산은 이미징 외에도 3 차원 매핑 및 이미징 처리량 (시간당 최대 25 웨이퍼) 이 가능합니다. 이 모델의 독특한 설계는 또한 고정밀 진공 장비 자동화 (high-precision vacuum equipment automation) 를 가능하게하여 이미징 중 접착력과 성능이 향상됩니다. 또한, 이 시스템은 기존 레시피를 쉽게 검색하고 편집할 수 있도록 자동화된 이미징 레시피 라이브러리를 갖추고 있습니다. 전체적으로, 1600-3 포토 esist 유닛은 다양한 두께의 저항에 신뢰할 수 있고 정확한 이미지를 제공합니다. 이 기계의 견고한 디자인, 다목적 레이저 소스, 민감한 탐지기는 멀티플렉싱 (multiplexing) 에서 마스킹 (Masking) 및 이미징 (Imaging) 에 이르기까지 다양한 사진 리토그래피 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.