판매용 중고 VERTEQ 1600-3 #293758511

VERTEQ 1600-3 (VERTEQ 1600-3) 은 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 일련의 포토 esist 시스템입니다. 이 "코우팅 '은 신속 하고 정밀 한 감광식" 코우팅' 과정 을 제공 하도록 고안 된 완전 한 자동 장비 로서, 다양 한 감광제 "코우팅 '과 기판 에 사용 할 수 있다. 특수 시스템을 사용하여 포토리스 스틱 코팅의 조사 (irradiation) 를 정확하게 제어하며 200 및 300mm 웨이퍼를 포함한 다양한 기판 크기를 처리 할 수 있습니다. 1600-3 (1600-3) 은 통합 웨이퍼 스프레이 유닛이있는 모듈 식 분포 장치를 사용하여 두께가 균일 한 코팅을 적용합니다. 이렇게 하면 전체 기판 에 걸쳐서 "코우팅 '을 할 수 있으며, 심지어 복잡 한" 패턴' 영역 에서도 균일 한 반점 을 볼 수 있다. 이 기계 에는 "레이저 다이오드 '를 사용 하여 기판 및" 포토레시스트' "코우팅 '의 반사율 을 정확 하게 측정 하는 독특 한 반사율 측정 도구 가 있다. 이를 통해 금속화 된 기판을 포함한 모든 유형의 기질에서 균일 한 코팅 두께를 달성 할 수 있습니다. VERTEQ 1600-3은 또한 통합 웨이퍼 스케일 디스펜스 챔버 (wafer scale dispense chamber) 를 장착하여 맞춤형 노즐 기술로 바늘 머리를 통해 정확한 코팅 증착을 보장합니다. 이를 통해 사용자는 제어 또는 정밀도를 희생하지 않고 넓은 영역에 포토리스 소스트 코팅을 정확하게 배치 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 온도 조절 건조 오븐을 특징으로하여 균일 한 코팅 두께를 더욱 보장합니다. 1600-3 (1600-3) 은 또한 코팅 과정에서 회전 할 수있는 반사 웨이퍼 단계를 특징으로합니다. 이것은 복잡한 패턴을 가진 기판에서도 균일 한 스프레이 커버리지를 허용합니다. 이 모델에는 자동 웨이퍼 추적 (automated wafer tracking) 장비 (옵션) 가 장착되어 있어 코팅 프로세스의 정확성을 더욱 높입니다. 포토 esist 시스템에는 몇 가지 안전 기능도 포함되어 있습니다. 이 장치에는 코팅 공정의 가스 및 미립자 오염 물질 (gaseous and particulate contaminant) 흔적과 깨끗한 작업 환경을 보장하는 HEPA 필터를 포함하는 안전 캐비닛이 포함되어 있습니다. 컴퓨터에는 비상 전원 컷오프 (Emergency Power Cutoff) 와 알람이 있는 모니터 (도구가 안전하지 않은 상태인 경우) 가 포함되어 있습니다. 전반적으로 VERTEQ 1600-3은 정확한 포토 esist 코팅 프로세스를 제공하는 고도의 포토 esist 자산입니다. 웨이퍼 스케일 디스펜스 챔버, 온도 조절 건조 오븐, 통합 웨이퍼 추적 모델, 반사율 측정 장비, 안전 캐비닛 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 이 기능들은 반도체 산업에서 사용하기 위해 다재다능하고, 안정적이며, 안전한 포토리스 시스템입니다.