판매용 중고 VERTEQ 1600-2 #9169238

VERTEQ 1600-2 장비는 높은 정확성과 반복 성을 유지하면서 0.2 초까지 기능 크기를 생성하도록 설계된 고급 포토리스 (photoresist) 생산 시스템입니다. 이 장치는 배달 기계, 컨트롤러, 포토 esist 코팅 및 노출 프로세스 모듈로 구성됩니다. 전달 도구는 스핀들 장착 기판 플레이트를 정확하게 움직이는 마이크로 포지셔닝 로봇으로 구성됩니다. 공구 기능을 사용하면 다양한 기판과 크기를 사용할 수 있습니다. 이렇게 하면 3 초의 로드 및 언로드 시간을 통해 높은 정확도와 짧은 대기 시간을 얻을 수 있습니다. 스핀들은 표준 피치를 사용하여 플러그 앤 플레이 (plug-n-play) 사용 편의성을 위해 다양한 기판 및 기판 크기를 수용합니다. 온보드 컨트롤러에는 자동 추출, 전달 및 위치를 위해 광 자산 인터페이스와 통합되는 PLC (programmable logic controller) 가 있습니다. 이 인터페이스를 사용하면 고유한 유니버설 디자인 (Universal Design) 을 통해 다양한 기판 유형 (features and data stored in continuous data trace) 에서 측정하고 기록할 수 있습니다. PLC 는 "로봇 '의 이동," 스핀들' 의 가속 및 감속 및 기타 요인 들 을 조절 하기 위하여 별도 의 "프로그래밍 라이브러리 '로 프로그램 된다. 마지막으로, 최첨단 포토레시스트 (photoresist) 프로세스 모듈은 기판 크기와 모양 프로파일에 정확하게 일치하는 데 사용되는 특수 알고리즘을 사용하여 활성 영역 (Active Area) 에 대해 뛰어난 균일성을 제공합니다. 이 모듈은 저항력 두께를 잘 제어하여 다양한 코팅 레이어 두께 (coating layer thickness) 에 걸쳐 정확한 저항력 두께를 제어할 수 있습니다. 고정밀도, 고생식 기능은 모듈의 특화된 optic 및 photomask를 사용하여 달성됩니다. 전체적으로, 1600-2 포토 esist 모델은 진공 증착을 위해 설계되었으며 최대 0.2 äm 크기에 저항합니다. 프로그래밍 가능한 PLC 및 지능형 전달 장비는 높은 정확성과 반복성을 보장합니다. 특수 광학 (Special optics) 을 사용하면 활성 영역에 대한 저항 두께와 뛰어난 균일성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. VERTEQ 1600-2는 반도체, 마이크로 일렉트로닉스 및 생명 공학 산업의 photoresist 응용 분야에 적합한 선택입니다.