판매용 중고 VARIAN Custom #182056
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ID: 182056
Stainless Steel Vacuum Coater System
Includes:
4 pocket egun
Quartz heaters
Solid state ebeam power supply
5cm ion mill
30cfm mechanical pump
GE PLC controller
ic5 crystal controller
CTI 10 cryo pump.
바리안 커스텀 (VARIAN Custom) 은 반도체 에칭 및 제작을 위해 고정밀도 및 비용 효율적인 리소그래피 프로세스를 제공하도록 설계된 고급 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 광전자 (Photoresist) 는 반도체 웨이퍼 (Wafer) 또는 기타 기판에 패턴 또는 이미지를 생성하는 데 사용되는 빛에 민감한 재료의 한 유형입니다. 특정 한 파장 의 빛 에 노출 되면, 광저장제 는 화학적 조성물 을 변화 시키며, 그 결과 노출 되거나, 노출 되지 않은 영역 이 된다. 이 노출되고 노출되지 않은 영역을 사용하면 회로, 안테나 및 기타 회로를 웨이퍼에 에칭 할 수 있습니다. 커스텀 (Custom) 은 기존의 포토레지스트 (photoresist) 시스템에 비해 월등한 성능을 제공합니다. 사용자 정의 기능을 통해 리소그래피 프로세스를 보다 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 시스템에는 뛰어난 Process Window 성능을 가능하게 하는 고급 photoresist 레이어 기능이 있습니다. 또한 VARIAN Custom photoresist 유닛은 고급 이미징 특성으로 인해 우수한 해상도와 매우 낮은 결함을 제공합니다. 전자광 변조기 (electro-optic modulator) 를 포함한 혁신적인 이미징 머신이 있어 광선 (light beam) 의 강도와 초점을 조정하여 고해상도 패턴화를 가능하게 합니다. 또한, 이 도구는 정확한 초점 제어 및 기능의 부드러운 스크리빙을 위해 LIFT (Laser-induced Forward Transfer) 초점 및 정렬 기술을 사용합니다. 또한, 사용자 정의 (Custom) 는 자동 분배 제어 기능을 제공하여 원하는 패턴화 매개변수를 사용하기 쉬운 소프트웨어로 조정할 수 있습니다. 게다가, 이 자산에는 내장된 온도 조절 장치 (temperate control unit) 와 고급 패턴의 optics 피드백 모델이 내장되어 있어 프로세스 안정성을 극대화할 수 있습니다. 전반적으로, VARIAN 커스텀 (VARIAN Custom) 은 반도체 웨이퍼 또는 기타 기판에서 패턴 또는 이미지를 만들기 위해 효율적인 리소그래피 프로세스를 제공하도록 설계된 고급 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 기존의 포토레시스트 (photoresist) 시스템에 비해 뛰어난 성능을 제공하며, 고급 이미징 및 디스펜스 제어 옵션과 기타 사용자 정의 가능한 기능을 갖추고 있습니다. 따라서 사용자 정의 (Custom) 는 시간과 비용을 절감하는 동시에, 우수한 품질의 제품을 생산할 수 있습니다.
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