판매용 중고 Unknown BPE-2000W #9282437

Unknown BPE-2000W
ID: 9282437
Evaporator.
SteamUnknown Unknown BPE-2000W는 마이크로 전자 및 반도체 산업 응용 분야를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 매우 다재다능한 시스템은 광범위한 기판에서 포토 esist 구조의 에칭, 패턴, 수정 및 수리에 사용될 수 있습니다. 이 장치는 특성-에이드 (Property-Aid) 라는 새로운 전기 화학 공정을 사용하는데, 이 공정은 다른 전위에 앉아있는 두 개의 포토 esist 층에 의해 생성 된 고전압 차동을 활용하여 에칭 공정의 선택성을 촉진합니다. 이렇게 하면 마스크 없이 닫힌 형상을 에칭 (etching) 하는 한편, 균일 한 구조를 만들고 기판 무결성을 유지할 수 있습니다. 이 과정은 필요한 기질에서 포토 esist 필름의 스핀 코팅으로 시작됩니다. BPE-2000W 기계는 블루 라이트를 사용하여 광도사를 조사하고 활성화시켜 선택적 에칭, 최소 브리징, 높은 어닐링 온도 및 개선 된 에지 변형 제어를 허용합니다. 조사 과정에서 노출 층의 균일성을 보장하기 위해 광학 밀도계 (optical densimeter) 가 사용되며, 개발 된 레시피는 기판 조성, 에치 깊이, 가정되는 포토 esist 필름 접착에 기초하여 최적의 조사 매개변수를 선택한다. 조사가 완료되면, 필름의 2 개의 포토리스 스트 층 (photoresist layer) 은 2 개의 전극에 연결되며, 하부는 지상에 연결되고 상단은 고전압에 연결됩니다. Property-Aid 프로세스는 알 수 없는 BPE-2000W 도구 (Unknown BPE-2000W tool) 가 제공하는 제어 전류로 시작하여 패턴을 포토리스 필름에 에치합니다. 부동산 보조 공정 (property-aid process) 은 또한 식각 주기 동안 기질의 높은 온도를 보상합니다. 패턴이 에칭되면, 포스트 프로세싱 단계는 응용 프로그램에 따라 dicing, flip chipping, reverse-etching 및 via formation을 포함한 다양한 프로세스로 구성 될 수 있습니다. BPE-2000W 자산에는 포스트 프로세싱 단계에서 입자가 포토레스 필름 (photoresist film) 에 들어가지 못하도록 먼지 보호 기능이 내장되어 있습니다. Unknown BPE-2000W 모델은 또한 최적의 에치 (etch) 단계를 제공하여 수동 조정의 필요성을 최소화하고 microfabrication 프로세스의 균일성과 처리량을 높일 수 있습니다. 결론적으로, BPE-2000W 장비는 마이크로 일렉트로닉스 및 반도체 산업을위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 포토 esist 시스템으로, 근접 기하학을 에치하고, 기판 무결성을 유지하고, 가장자리 변화 제어를 개선하도록 설계되었습니다. 특성-보조 (Property-Aid) 프로세스를 사용하면 마스크 없이도 포토레스 (photoresist) 구조를 에칭할 수 있으며, 포스트 프로세싱은 최적의 결과를 위해 다양한 프로세스로 구성 될 수 있습니다. 이 신뢰성 있는 장치 는 균일성 (unifority) 과 처리량 을 극대화 하는 한편, 먼지 보호 (dust protection) 와 쉬운 수동 조정 (manual adjustment) 을 보장하도록 설계되었습니다.
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