판매용 중고 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #9398881

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130은 고급 생산 라인 응용 프로그램을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 생산을 가속화하고, 정확성과 효율성을 높이고, 비용을 절감하도록 설계되었습니다. 마이크로 전자 산업, IC 제조 및 연구 개발 응용 분야에 사용됩니다. 이 장치는 기판에 코팅 된 고급 포토 esist 레이어를 사용합니다. 자외선 광원으로 조명하면 포토레시스트 (photoresist) 재료가 꺼지고 기판 패턴에 해당하는 투명 패턴이 표시됩니다. 이 투명 패턴을 사용하여 기판을 에치, 건조 또는 정밀도로 가열할 수 있습니다. USI UH 130 기계의 고급 기능에는 노출 시간 자동 제어, UV 광원 강도, 기판과 광원 사이의 거리, 기타 매개변수 등이 있습니다. 수동 노출 방식보다 더 나은 반복 가능성과 정확성을 제공합니다. 또한 이 도구에는 고급 안전 기능이 포함되어 있습니다. 자외선 (UV light) 에 노출되는 것을 방지하기 위한 보호 덮개, 의도하지 않은 노출을 방지하기위한 안전 연동 자산, 비정상적인 작동이 감지되면 전원을 차단하는 안전 연동 모델 (Safety Interlock Model) 이 있습니다. ULTRON SYSTEMS INC UH 130 장비는 대용량 생산 환경에서 사용하도록 설계되었습니다. 짧은 실행과 5,000 개 이상의 장기 실행에 사용할 수 있습니다. 모든 크기의 기판과 호환되며 최대 5200 cm2 면적의 12 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 전반적으로 UH 130 포토 esist 시스템은 고급 생산 라인 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. 포토 esist 레이어로 에칭, 건조 또는 가열 기판에 대한 향상된 반복 성, 정확성 및 변동 성을 제공하는 자동 장치 (automated unit) 입니다. 또한 UV 가볍고 위험한 상태로부터 운영자를 보호하기위한 안전 기능도 있습니다.