판매용 중고 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #9182148

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130은 포토 마스크, 프로젝션 광학 및 미니 배치 처리 환경으로 구성된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 실리콘 웨이퍼, 유리 슬라이드와 같은 기판에 마이크로 패턴을 적용하는 데 사용됩니다. 이 장치의 프로젝션 광학 (Projection Optics) 은 넓은 시야와 고해상도를 제공하므로 매우 복잡한 기능을 생산할 수 있습니다. 기계의 포토 마스크 (photomask) 는 다양한 크기와 모양의 패턴을 보유 할 수 있으며 4 "X 6" 쿼츠 플레이트로 구성됩니다. 석영판은 초보라색 (UV) 빛을 기판으로 옮기는 차량입니다. 자외선 (UV light) 은 감광 물질에서 화학 반응을 유발하여 경화 또는 용해된다. 공구의 투영 광학 (projection optics) 은 한 번에 여러 기판을 수용할 수 있을 정도로 큰 명확한 투영 시야 (projection field of view) 를 제공하도록 설계되었습니다. 광학은 렌즈, 진공 인클로저, 4 방향 편광 빔 스플리터 큐브 및 조절 가능한 조리개로 구성됩니다. 이 배열은 왜곡되지 않은 기판에 패턴을 정확하게 투영 할 수 있습니다. USI UH 130의 처리 환경은 미니 배치 처리를 위해 설계되었습니다. 즉, 한 번에 적은 수의 기판을 처리 할 수 있으며, 각 배치는 완료하는 데 몇 초 밖에 걸리지 않습니다. 프로세스가 완료되면, 기판을 수동으로 스크리닝하여 가능한 결함을 식별할 수 있습니다. ULTRON SYSTEMS INC UH 130 자산의 주요 특징은 칩 (chip) 제조업체 및 작은 복잡한 패턴을 생산해야 하는 다른 조직에 이상적인 솔루션입니다. 이 모델은 빠르고 정확하게 작동하며, 환경은 작은 기판 배치를 수용 할 수 있습니다. 또한, 스크리닝 과정에서 발견된 모든 결함을 신속하게 파악하여 신속한 해결 (quick resolution) 을 가능하게 할 수 있습니다. 궁극적으로, 장비의 기능은 조직에 고품질의 마이크로 전자 부품 (micro-electronic component) 을 생산할 수있는 기능을 제공합니다.