판매용 중고 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #293767011

ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130
ID: 293767011
웨이퍼 크기: 6"
Die matrix expander, 6".
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130 포토 esist 장비는 포토 esist 물질로 기판 또는 포토 마스크를 코팅하기위한 고급 시스템입니다. 이 장치는 3 축 간트리 (gantry) 를 사용하며 다양한 모양과 크기의 기판 또는 마스크에 포토 esist 레이어를 정확하게 적용하기 위해 수직, 수평 및 측면 이동이 가능합니다. USI UH 130 (USI UH 130) 은 모든 방향으로 3 미크론 정확도를 갖는 높은 해상도를 자랑하며, 높은 정밀도를 통해 매우 얇은 photoresist 레이어를 기질 또는 마스크에 적용 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 여러 가지 자동화된 (automated) 기능을 갖추고 있으며, 사용자가 포토리스 (photoresist) 코팅 작업을 빠르고 쉽게 설정하고 완료할 수 있습니다. ULTRON SYSTEMS INC UH 130은 특허를받은 노즐 디자인을 사용하여 최소 폐기물로 포토 esist 물질을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 고해상도 시각 자산 (high resolution vision asset) 을 사용하여 기판 또는 마스크를 적용 중인 포토레지스트와 정확하게 정렬합니다. 이를 통해 응용 프로세스는 반복 가능하고 정확하며, 전통적인 포토리스 (photoresist) 코팅 프로세스와 관련된 수작업 (manual labor) 은 제거됩니다. UH 130의 자동 기능으로 처리량 및 생산성 향상도 가능합니다. 자동 노출, 노출 후 베이크 (post-exposure bake) 및 노출 후 지연 (post-exposure delay) 옵션을 사용하여 포토리스 코팅 프로세스의 속도와 안정성을 향상시킬 수 있습니다. 자동 두께 측정 도구 (옵션) 를 사용하여 코팅이 지정된 두께 공차 내에 있는지 확인할 수도 있습니다. 이 모델에는 비상 셧다운 (Emergency Shutdown) 버튼 및 머신 인터록 (Machine Interlock) 과 같은 안전 기능이 장착되어 있으며, 머신 작동에 잠재적 인 위험 또는 사고를 나타내는 경보가 있습니다. 또한 ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130은 CSA/UL-Listed이며 전기 안전에 대한 NFPA 79 표준을 준수합니다. USI UH 130 (USI UH 130) 은 포토레시스트 코팅 프로세스에 적합한 선택으로, 고해상도, 자동화된 기능, 높은 수준의 안전성과 신뢰성을 제공합니다. 즉, 인건비를 절감하는 동시에 처리량과 생산성을 높일 수 있도록 설계되었습니다. 그것의 많은 특징들은 그것을 다양한 포토 esist 코팅 응용 분야에 이상적인 선택으로 만듭니다.
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