판매용 중고 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114-8 #293671773

ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114-8
ID: 293671773
웨이퍼 크기: 8"
Wafer mounter, 8".
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 114-8은 대용량 마이크로 전자 장치 제조를 위해 설계된 고성능 포토 esist 장비입니다. 광전물질 (photoresist) 시스템은 견고하고 신뢰할 수있는 화학 분배 단위로 구성되며, 이 단위는 광전물질을 기판에 정확하게 분배하고 퍼뜨리는 데 사용됩니다. "에어나이프 '와" 스핀 코우터' 는 "디스펜스 '기계 와 통합 되어 기판 에 있는 광물질 의 균일 한" 코우팅' 을 한다. 이 도구는 고급 제어 인터페이스 (Advanced Control Interface) 를 통해 높은 정확도의 분배 및 코팅 프로세스 제어를 제공하며, 이를 통해 자산을 정확하게 프로그래밍하고 작동할 수 있습니다. 화학 분배 모델 은 강력 한 "모터 '와 강력 한 운동 단계 로 구성 되어 있으며, 광물질 을 기판 에 빠르고 정확 하게 분배 할 수 있다. 대용량 프로세싱을 위한 높은 유량 (Flow Rate) 과 향상된 주기 (Cycle) 시간으로 설계되었습니다. 분배 장비는 공기 칼 모듈 (air knife module) 과 통합되어 기판 표면에 포토리스 스트 (photoresist) 의 고른 확산 및 자동 스핀 코터 (spin coater) 를 제공하므로 포토 에스트 (photoresist) 가 기판에 균등하게 분포되어 있습니다. USI UH 114-8에는 멀티 스테이지 자동 스핀 코터도 포함되어 있어 시스템의 고정밀 제어가 가능합니다. 스핀 코터 (spin coater) 는 우수한 포토 esist 두께를 위해 높은 균일성과 균일 한 입자 층을 제공하는 특허 기술을 포함합니다. 이 장치 는 또한 더 깨끗 한 기판 표면 에 대한 입자 와 휘발성 물질 을 쉽게 제거 할 수 있도록 "챔버 '진공기 로 설계 되었다. 또한, 디스펜싱 툴에는 고급 디지털 컨트롤러 (Advanced Digital Controller) 가 장착되어 있어 디스펜스 (Dispense) 및 코팅 매개변수 모두를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이를 통해 프로세스 관리가 향상되어 더 높은 수익률과 제품 품질이 향상됩니다. 또한 디지털 컨트롤러는 디스펜싱 (dispensing) 및 코팅 프로세스를 쉽게 설정하고 프로그래밍할 수 있습니다. 전반적으로 ULTRON SYSTEMS INC UH 114-8은 대용량 마이크로 일렉트로닉 장치 제조를 위해 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 포토 esist 자산입니다. 고류 화학 분배 모델, 에어 나이프 (air knife) 및 자동 스핀 코터 (spin coater), 정밀한 프로세스 제어 및 쉬운 설정을 위한 고급 디지털 컨트롤러 (digital controller) 가 특징입니다. 이 장비 는 광물질 (photoresist) 을 기판 에 정확 하고 균일 하게 적용 시켜 주며, 수율 과 제품 질 이 뛰어나다.
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