판매용 중고 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 108 #293628721
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ID: 293628721
웨이퍼 크기: 6"-8"
Tabletop laminator, 6"-8"
Power supply: 115 VAC, 1 A, 50/60 Hz, Single phase.
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 108은 사진주의 장비로, 현대 석판 기술을 사용하여 전자 산업에서 고품질 및 정확한 이미지를 생성합니다. 이 시스템은 자외선 (UV Light) 을 사용하여 다양한 유형의 기판에 선택적으로 포토 esist 필름을 노출시키며, 포토 esist 패턴 생산 프로세스에 대한 추가 개발 단계는 필요하지 않습니다. 이 장치는 UV 소스에서 매우 균형 잡힌 출력을 가지며, 가장 일반적인 포토 esist 필름에서 더 선명한 이미지를 제공합니다. 램프 출력에서 특허를 받은 공간 필터 (Spatial Filter) 를 사용하면 회절 레벨을 줄이는 데 도움이 되고 이미지 선명도와 해상도가 높아집니다. 이 시스템에서 Focus Alignment의 Light Distribution은 SEMI123/SEMI214/SEMI224 표준과 일치하며 웨이퍼 기판의 Higher Uniformity Lighting 디자인이 개선되었습니다. 광학의 더 큰 필드 (field) 와 향상된 각도 제어 (angle control) 는 기판의 노출 균일성을 향상시키는 데 도움이됩니다. 자동화된 MAMM (Motorized Automatic Macro Magnifier) 및 PCA (Position Compensation Accessories) 옵션을 사용하여 투사된 포토레시스트 이미지를 쉽게 검사할 수 있습니다. 이를 통해 수동 검사 (manual inspection) 에 소요되는 시간을 효과적으로 단축하고 기판 노출 시 소요되는 시간을 줄일 수 있습니다. USI UH 108은 대용량 생산을 위해 설계되었으며, 고정밀도, 반복 가능한 노출 교정 사양을 가지고 있습니다. 이 도구는 전체 웨이퍼 서피스에서 UV 노출 레벨을 조정하고, 여러 노출 레벨에서 원하는 프로파일을 달성합니다. 이 조정 프로세스의 결과는 영구적입니다. 즉, 타이밍 (timing) 이 아닌 이미지 데이터를 기반으로 합니다. 또한이 자산에는 웨이퍼 (Wafer) 및 필름 압력 제어 모델 (Film Pressure Control Model) 이 포함되어 있어 진공, 일정한 압력 또는 공기 하에서 노출 장비를 작동 할 수 있습니다. 이 시스템은 기판의 노출 통일성을 더욱 향상시키고, 잠재적 노출 오차 (imposure misalignment) 를 줄이는 데 도움이됩니다. ULTRON SYSTEMS INC UH 108은 전자 산업을위한 포토 esist 유닛을위한 완벽한 선택입니다. 고정밀도, 반복 가능한 노출 교정 사양과 매우 균일 한 조명뿐만 아니라 진공, 일정한 압력 또는 공기 노출의 옵션을 제공합니다. 검사 장비 (옵션) 를 사용하면 노출 시간이 더욱 단축되어 정확도와 화질이 향상됩니다.
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