판매용 중고 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 102-8 #9159218

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 102-8은 고해상도 마이크로 칩, 박막 전자 장치 및 기타 마이크로 일렉트로닉 부품 생산을 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 리소그래피 프로세스에 대한 심도 자외선 (DUV) 노출을 사용하여 매우 정밀한 CD (Critical Dimension) 제어를 제공합니다. 이 장치에는 고출력 수은 증기 DUV 광원, 스테퍼/스캐너 장치, 전원 공급 장치 (웨이퍼 스테이지 및 마스크 정렬 부품) 가 장착되어 있습니다. 또한 다중 채널 광 정렬 시스템, 웨이퍼 스테이지 및 컨트롤러가 포함됩니다. 이 도구는 전체 웨이퍼에 균일 한 저항 패턴을 유지할 수 있으며, 뛰어난 장기 안정성 및 프로세스 반복성 (process repeatability) 을 제공합니다. USI UH 102-8 에셋에 내장 된 고급 옵틱은 특히 좁은 라인 및 작은 접촉/via 크기로 뛰어난 제어를 제공합니다. DUV 소스는 360nm-420nm의 파장을 제공하여 특정 이미징 요구에 맞게 노출 수준이 최적화됩니다. 또한, 동봉 된 웨이퍼 스테이지는 영상 영역을 연속 진공으로 둘러싸고, 산화 및 가스 제거 효과를 최소화합니다. 이 모델의 정밀 다축 메커니즘은 가능한 CD가 가장 작은 이미징 장치의 고속 노출을 지원하도록 설계되었습니다. 독점적 인 전원 공급 장치는 DUV 노출이 전체 웨이퍼에서 안정적이고 일관성을 유지하도록 보장합니다. 또한, 이 장비는 결함, 드리프트 및 디터 보상을 포함한 고급 프로세스 자동화 기능을 제공합니다. 연산자는 자동 프로세스 모니터링 및 제어를 통해 노출 소스 매개변수 (서브 미크론 수준) 를 조정할 수도 있습니다. ULTRON SYSTEMS INC UH 102-8은 마이크로 일렉트로닉스 제조에 가장 높은 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 포토 esist 시스템입니다. 정밀한 옵틱 (optic), 자동화된 기능, 강력한 전원 공급 장치를 조합하여 뛰어난 효율성을 지닌 고품질 부품을 생산할 수 있습니다.